| 講演名 | 2023-05-19 AlN film by reactive sputtering as a stressor for Ge photonic devices on Si Jose A. Piedra-Lorenzana(豊橋技科大), 金子 尚平(豊橋技科大), 福島 孝晃(豊橋技科大), 山根 啓輔(豊橋技科大), 藤方 潤一(徳島大), 石川 靖彦(豊橋技科大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | ED2023-9,CPM2023-9,SDM2023-26 |
| 発行日 | 2023-05-12 (ED, CPM, SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM / ED / SDM |
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| 開催期間 | 2023/5/19(から1日開催) |
| 開催地（和） | 名古屋工大 |
| 開催地（英） | Nagoya Institute of Technology |
| テーマ（和） | 機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 中村 雄一(豊橋技科大) / 藤代 博記(東京理科大) / 大見 俊一郎(東工大) |
| 委員長氏名（英） | Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) / Shunichiro Ohmi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 中澤 日出樹(弘前大) / 葛西 誠也(北大) / 宇佐美 達矢(日本エーエスエム) |
| 副委員長氏名（英） | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) / Seiya Sakai(Hokkaido Univ.) / Tatsuya Usami(ASM Japan) |
| 幹事氏名（和） | 寺迫 智昭(愛媛大) / 武山 真弓(北見工大) / 大石 敏之(佐賀大) / 堤 卓也(NTT) / 諏訪 智之(東北大) / 野田 泰史(パナソニック) |
| 幹事氏名（英） | Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) / Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Takuya Tsutsumi(NTT) / Tomoyuki Suwa(Tohoku Univ.) / Taiji Noda(Panasonic) |
| 幹事補佐氏名（和） | 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 番場 教子(信州大) / 小山 政俊(阪工大) / 山本 佳嗣(三菱電機) / 細井 卓治(関西学院大) / 二瀬 卓也(サンディスク) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Noriko Bamba(Shinshu Univ.) / Masatoshi Koyama(Osaka Inst. of Tech.) / Yoshitugu Yamamoto(Mitsubishi Electric) / Takuji Hosoi(Kwansei Gakuin Univ.) / Takuya Futase(SanDisk) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Electron Devices / Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | AlN film by reactive sputtering as a stressor for Ge photonic devices on Si |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | Jose A. Piedra-Lorenzana / Jose A. Piedra-Lorenzana |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. Tec.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 金子 尚平 / Shohei Kaneko |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. Tec.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 福島 孝晃 / Takaaki Fukushima |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. Tec.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 山根 啓輔 / Keisuke Yamane |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. Tec.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 藤方 潤一 / Junichi Fujikata |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 徳島大学(略称：徳島大) Tokushima University(略称：Tokushima Univ.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 石川 靖彦 / Yasuhiko Ishikawa |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. Tec.) |
| 発表年月日 | 2023-05-19 |
| 資料番号 | ED2023-9,CPM2023-9,SDM2023-26 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | ED-41,CPM-42,SDM-43 |
| ページ範囲 | pp.36-39(ED), pp.36-39(CPM), pp.36-39(SDM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-05-12 (ED, CPM, SDM) |