| 講演名 | 2023-04-22 ［招待講演］ガラス基板上のダブルゲート薄膜トランジスタ 原 明人(東北学院大), 野村 海成(東北学院大), 永吉 輝央(東北学院大), 新田 誠英(東北学院大), 鈴木 翔(東北学院大), 伊藤 悠人(東北学院大), |
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| 抄録(和) | 我々は, ガラス基板上に高性能な薄膜トランジスタ(TFT)を実現することを目標に研究を進めている.本報告では多結晶４族系薄膜トランジスタ（TFT）, 特にチャネル上下にゲートを有するダブルゲートTFTの特性について報告する. 上下ゲートを同じ電圧で動作させた場合（連結型ダブルゲート）, 上下ゲートを独立に動作させた場合（独立ゲートまたは4端子動作）の特性について, 我々が行った研究を中心に紹介する. この高性能化技術は, 3次元集積回路の実現のための一つのアプローチになると考えている. |
| 抄録(英) | The aim of our research is to realize high performance and functional thin-film transistors (TFTs) on glass substrates. This report explains performance of two types of planar double-gate (DG) polycrystalline group-Ⅳ TFTs, which includes top and bottom gate electrode. One is connected DG TFTs, in which electrodes of TG and BG are electrically connected. Another is independent (four-terminal, 4T) DG TFTs, in which top and bottom gates are independently operated. This TFT may be one candidate of upper layer devices in three dimensional (3D) LSI. |
| キーワード(和) | ダブルゲート / シリコン / ゲルマニウム / ゲルマニウム スズ / 薄膜トランジスタ |
| キーワード(英) | Double-gate / silicon / germanium / germanium tin / TFT |
| 資料番号 | SDM2023-16,OME2023-16 |
| 発行日 | 2023-04-14 (SDM, OME) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM / OME |
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| 開催期間 | 2023/4/21(から2日開催) |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawaken Seinen Kaikan |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Thin film devices (Si, compound, organic, flexible), Biotechnology, Materials, Characterization, etc. |
| 委員長氏名（和） | 大見 俊一郎(東工大) / 山田 俊樹(NICT) |
| 委員長氏名（英） | Shunichiro Ohmi(Tokyo Inst. of Tech.) / Toshiki Yamada(NICT) |
| 副委員長氏名（和） | 宇佐美 達矢(日本エーエスエム) / 伊東 栄次(信州大学) |
| 副委員長氏名（英） | Tatsuya Usami(ASM Japan) / Eiji Itoh(Shinshu Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 諏訪 智之(東北大) / 野田 泰史(パナソニック) / 梶井 博武(阪大) / 嘉治 寿彦(東京農工大) |
| 幹事氏名（英） | Tomoyuki Suwa(Tohoku Univ.) / Taiji Noda(Panasonic) / Hirotake Kajii(Osaka Univ.) / Toshihiko Kaji(Tokyo Univ. of Agriculture and Tech.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 細井 卓治(関西学院大) / 二瀬 卓也(サンディスク) / 清家 善之(愛知工大) / 馬場 暁(新潟大学) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takuji Hosoi(Kwansei Gakuin Univ.) / Takuya Futase(SanDisk) / Yoshiyuki Seike(Aichi Inst. of Tech.) / Akira Baba(Niigata Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Committee on Organic Molecular Electronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］ガラス基板上のダブルゲート薄膜トランジスタ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Double gate thin-film transistors on glass substrates |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ダブルゲート / Double-gate |
| キーワード(2)（和/英） | シリコン / silicon |
| キーワード(3)（和/英） | ゲルマニウム / germanium |
| キーワード(4)（和/英） | ゲルマニウム スズ / germanium tin |
| キーワード(5)（和/英） | 薄膜トランジスタ / TFT |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 原 明人 / Akito Hara |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北学院大学(略称：東北学院大) Tohoku Gakuin University(略称：Tohoku Gakuin Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 野村 海成 / Kaisei Nomura |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北学院大学(略称：東北学院大) Tohoku Gakuin University(略称：Tohoku Gakuin Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 永吉 輝央 / Akihisa Nagayoshi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北学院大学(略称：東北学院大) Tohoku Gakuin University(略称：Tohoku Gakuin Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 新田 誠英 / Masahide Nitta |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東北学院大学(略称：東北学院大) Tohoku Gakuin University(略称：Tohoku Gakuin Univ.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 鈴木 翔 / Syo Suzuki |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東北学院大学(略称：東北学院大) Tohoku Gakuin University(略称：Tohoku Gakuin Univ.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 伊藤 悠人 / Yuto Ito |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東北学院大学(略称：東北学院大) Tohoku Gakuin University(略称：Tohoku Gakuin Univ.) |
| 発表年月日 | 2023-04-22 |
| 資料番号 | SDM2023-16,OME2023-16 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | SDM-8,OME-9 |
| ページ範囲 | pp.59-62(SDM), pp.59-62(OME), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-04-14 (SDM, OME) |