| 講演名 | 2023-03-17 Wiped-Rate Estimation for Semiconductor Manufacturing Using DNN Based on 3D Body Tracking 長田 健宏(筑波大), 鄭 立偉(台湾成功大), 宍戸 英彦(筑波大), 金 惠眞(東京エレクトロン), マハパン チャンヤ(東京エレクトロン), 吉井 直樹(東京エレクトロン), 守屋 剛(東京エレクトロン), 北原 格(筑波大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | This research presents a method to calculate the corresponding wiped rate from upper body wiping movements to determine the optimal wiping motion. Fifty sequential 3D body motion data were recorded while wiping particles on a quartz ring using an RGB-D camera. The number of particles on the surface of the quartz ring was determined by calculating the particle area under UV light to estimate the wiped rate. The captured 3D body motion data and the wiped rate were combined as a dataset for deep learning. Three types of deep learning models were used: standalone Long Short-Term Memory (LSTM), Autoencoder (NN)-LSTM, and Autoencoder (LSTM)-LSTM. The results were compared and evaluated for their learning rate and accuracy. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | LSTMAutoencoderRGB-D cameraSemiconductor Manufacturing3D Body Tracking |
| 資料番号 | IMQ2022-67,IE2022-144,MVE2022-97 |
| 発行日 | 2023-03-08 (IMQ, IE, MVE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | IMQ / IE / MVE / CQ |
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| 開催期間 | 2023/3/15(から3日開催) |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館（那覇市） |
| 開催地（英） | Okinawaken Seinenkaikan (Naha-shi) |
| テーマ（和） | 五感に訴えるオンラインメディアとその評価，および一般（魅力工学研究会協賛） |
| テーマ（英） | Media of five senses, Multimedia, Media experience, Picture codinge, Image media quality, Network,quality and reliability, etc（AC） |
| 委員長氏名（和） | 魚森 謙也(阪大) / 児玉 和也(NII) / 清川 清(奈良先端大) / 岡本 淳(NTT) |
| 委員長氏名（英） | Kenya Uomori(Osaka Univ.) / Kazuya Kodama(NII) / Kiyoshi Kiyokawa(NAIST) / Jun Okamoto(NTT) |
| 副委員長氏名（和） | 前田 充(キヤノン) / 坂東 幸浩(NTT) / 山崎 俊彦(東大) / 新井田 統(KDDI総合研究所) / 平栗 健史(日本工大) / 長谷川 剛(東北大) |
| 副委員長氏名（英） | Mitsuru Maeda(Canon) / Hiroyuki Bandoh(NTT) / Toshihiko Yamazaki(Univ. of Tokyo) / Sumaru Niida(KDDI Research) / Takefumi Hiraguri(Nippon Inst. of Tech.) / Gou Hasegawa(Tohoku Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 工藤 博章(名大) / 土田 勝(NTT) / 海野 恭平(KDDI総合研究所) / 福嶋 慶繁(名工大) / 磯山 直也(奈良先端大) / 原 豪紀(大日本印刷) / 福嶋 政期(東大) / 後藤 充裕(NTT) / 恵木 則次(NTT) / 山本 寛(立命館大) |
| 幹事氏名（英） | Hiroaki Kudo(Nagoya Univ.) / Masaru Tsuchida(NTT) / Kyohei Unno(KDDI Research) / Norishige Fukushima(Nagoya Inst. of Tech.) / Naoya Isoyama(NAIST) / Takenori Hara(DNP) / Shogo Fukushima(Univ. of ToKyo) / Mitsuhiro Goto(NTT) / Noritsugu Egi(NTT) / Hiroshi Yamamoto(Ritsumeikan Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 塚田 正人(筑波大) / 山添 崇(成蹊大) / 岩村 俊輔(NHK) / 工藤 忍(NTT) / 宍戸 英彦(筑波大) / 中澤 篤志(京大) / 東條 直也(KDDI総合研究所) / 萩山 直紀(NTT) / 川嶋 喜美子(NTT) / 中村 遼(福岡大) / 中平 俊朗(NTT) / 塚常 健太(岡山理科大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Masato Tsukada(Univ. of Tsukuba) / Takashi Yamazoe(Seikei Univ.) / Shunsuke Iwamura(NHK) / Shinobu Kudo(NTT) / Hidehiko Shishido(Univ. of Tsukuba) / Atsushi Nakazawa(Kyoto Univ.) / Naoya Tojo(KDDI Research) / Naoki Hagiyama(NTT) / Kimiko Kawashima(NTT) / Ryo Nakamura(Fukuoka Univ.) / Toshiro Nakahira(NTT) / Kenta Tsukatsune(Okayama Univ. of Science) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Image Media Quality / Technical Committee on Image Engineering / Technical Committee on Media Experience and Virtual Environment / Technical Committee on Communication Quality |
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| 本文の言語 | ENG |
| タイトル（和） | |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Wiped-Rate Estimation for Semiconductor Manufacturing Using DNN Based on 3D Body Tracking |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / LSTMAutoencoderRGB-D cameraSemiconductor Manufacturing3D Body Tracking |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 長田 健宏 / Takehiro Nagata |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 筑波大学(略称：筑波大) University of Tsukuba(略称：Univ. of Tsukuba) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 鄭 立偉 / Li-Wei Cheng |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 國立成功大學(略称：台湾成功大) National Cheng Kung University(略称：NCKU) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 宍戸 英彦 / Hidehiko Shishido |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 筑波大学(略称：筑波大) University of Tsukuba(略称：Univ. of Tsukuba) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 金 惠眞 / Hyejin Kim |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン株式会社(略称：東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited(略称：TEL) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | マハパン チャンヤ / Chanya Mahapun |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン株式会社(略称：東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited(略称：TEL) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 吉井 直樹 / Naoki Yoshii |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン株式会社(略称：東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited(略称：TEL) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 守屋 剛 / Tsuyoshi Moriya |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 東京エレクトロン株式会社(略称：東京エレクトロン) Tokyo Electron Limited(略称：TEL) |
| 第 8 著者 氏名（和/英） | 北原 格 / Itaru Kitahara |
| 第 8 著者 所属（和/英） | 筑波大学(略称：筑波大) University of Tsukuba(略称：Univ. of Tsukuba) |
| 発表年月日 | 2023-03-17 |
| 資料番号 | IMQ2022-67,IE2022-144,MVE2022-97 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | IMQ-437,IE-439,MVE-440 |
| ページ範囲 | pp.235-240(IMQ), pp.235-240(IE), pp.235-240(MVE), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2023-03-08 (IMQ, IE, MVE) |