| 講演名 | 2023-02-28 室温原子層堆積法を用いた酸化鉄薄膜の試作と評価 大西 凌二(山形大), 齋藤 健太郎(山形大), 鹿又 健作(山形大), 三浦 正範(山形大), 有馬 ボシールアハンマド(山形大), 廣瀬 文彦(山形大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | CPM2022-87 |
| 発行日 | 2023-02-21 (CPM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2023/2/28(から1日開催) |
| 開催地（和） | 東京工科大学 + オンライン開催 |
| 開催地（英） | Tokyo University of Technology |
| テーマ（和） | 若手ミーティング・電子材料・応用・一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 中村 雄一(豊橋技科大) |
| 委員長氏名（英） | Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 中澤 日出樹(弘前大) |
| 副委員長氏名（英） | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 寺迫 智昭(愛媛大) / 武山 真弓(北見工大) |
| 幹事氏名（英） | Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) |
| 幹事補佐氏名（和） | 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 番場 教子(信州大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Noriko Bamba(Shinshu Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 室温原子層堆積法を用いた酸化鉄薄膜の試作と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and evaluation of iron oxide thin films using room temperature atomic layer deposition |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大西 凌二 / Ryoji Onishi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 齋藤 健太郎 / Kentaro Saito |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 三浦 正範 / Masanori Miura |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 有馬 ボシールアハンマド / Bashir Ahmmad |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 発表年月日 | 2023-02-28 |
| 資料番号 | CPM2022-87 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | CPM-392 |
| ページ範囲 | pp.9-11(CPM), |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2023-02-21 (CPM) |