| 講演名 | 2023-02-28 室温原子層堆積法を用いた酸化亜鉛と酸化チタンの複合酸化膜の試作と評価 鈴木 晴登(山形大), 齋藤 健太郎(山形大), 鹿又 健作(山形大), 三浦 正範(山形大), 有馬 ボシールアハンマド(山形大), 廣瀬 文彦(山形大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | CPM2022-86 |
| 発行日 | 2023-02-21 (CPM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2023/2/28(から1日開催) |
| 開催地（和） | 東京工科大学 + オンライン開催 |
| 開催地（英） | Tokyo University of Technology |
| テーマ（和） | 若手ミーティング・電子材料・応用・一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 中村 雄一(豊橋技科大) |
| 委員長氏名（英） | Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 中澤 日出樹(弘前大) |
| 副委員長氏名（英） | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 寺迫 智昭(愛媛大) / 武山 真弓(北見工大) |
| 幹事氏名（英） | Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) |
| 幹事補佐氏名（和） | 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 番場 教子(信州大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Noriko Bamba(Shinshu Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 室温原子層堆積法を用いた酸化亜鉛と酸化チタンの複合酸化膜の試作と評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication and evaluation of ZnO-TiO2 composite oxide films using room temperature atomic layer deposition |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 鈴木 晴登 / Haruto Suzuki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata Univesity(略称：Yamagata Univ) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 齋藤 健太郎 / Kentaro Saito |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata Univesity(略称：Yamagata Univ) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 鹿又 健作 / Kensaku Kanomata |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata Univesity(略称：Yamagata Univ) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 三浦 正範 / Masanori Miura |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata Univesity(略称：Yamagata Univ) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 有馬 ボシールアハンマド / Bashir Ahmmand |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata Univesity(略称：Yamagata Univ) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirose |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata Univesity(略称：Yamagata Univ) |
| 発表年月日 | 2023-02-28 |
| 資料番号 | CPM2022-86 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | CPM-392 |
| ページ範囲 | pp.5-8(CPM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-02-21 (CPM) |