| 講演名 | 2023-01-27 ミストCVD法により作製したナノ粒子分散(Zn,Mg)O薄膜へのアニールの効果 田中 京輔(静岡大), 奈良 俊宏(静岡大), 矢ヶ崎 司(静岡大), 伊藤 里樹(静岡大), 光野 徹也(静岡大), 小南 裕子(静岡大), 原 和彦(静岡大), |
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| 抄録(和) | 原料に酢酸化物を用いるミストCVD法により，a面サファイア基板上に， (Zn,Mg)O混晶中にZnOナノ粒子を分散させた薄膜を成長させた．成長した後，薄膜中およびナノ粒子の内部および周囲の欠陥を除去する目的で，アニール処理を行った．成長温度を650 ℃，および原料溶液中のMg原料モル比を30 %で成長させた試料では，850 ℃でのアニールにより(Zn,Mg)Oのバンド端発光およびナノ粒子由来の発光を増大させることができた． |
| 抄録(英) | ZnO nanoparticles dispersed (Zn,Mg)O thin films, were grown on an a-plane sapphire substrate by a mist CVD method using acetate compounds as source materials. After growth, annealing was performed to remove defects in and around the nanoparticles incorperated in the thin film. For samples grown at a growth temperature of 650 ℃ and a Mg source concentration of 30 % in the source solution, the annealing treatment at 850 ℃ enhanced the band-edge emissions oboth from a (Zn,Mg)O thin film and ZnO nanoparticles. |
| キーワード(和) | ミストCVD / (Zn,Mg)O / 薄膜成長 |
| キーワード(英) | mist CVD / (Zn,Mg)O / thin films growth |
| 資料番号 | EID2022-7 |
| 発行日 | 2023-01-19 (EID) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ITE-IDY / IEIJ-SSL / EID / SID-JC / IEE-EDD |
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| 開催期間 | 2023/1/26(から2日開催) |
| 開催地（和） | オンライン開催 (Webex) |
| 開催地（英） | Online (Zoom) |
| テーマ（和） | 発光型／非発光型ディスプレイ合同研究会 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 石鍋 隆宏(東北大) / / 山口 雅浩(東工大) |
| 委員長氏名（英） | Takahiro Ishinabe(Tohoku Univ.) / / Masahiro Yamaguchi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | / / 神原 誠之(奈良先端大) / 石原 朋幸(ジャパンディスプレイ) |
| 副委員長氏名（英） | / / Masayuki Kanbara(NAIST) / Tomoyuki Ishihara(Japan Display) |
| 幹事氏名（和） | 中村 篤志(静岡大) / 長谷川 拓哉(東北大) / / 伊達 宗和(NTT) / 水﨑 真伸(シャープ) |
| 幹事氏名（英） | Atsushi Nakamura(Shizuoka Univ.) / Takuya Hasegawa(Tohoku Univ.) / / Munekazu Date(NTT) / Masanobu Mizusaki(SHARP) |
| 幹事補佐氏名（和） | / / 辻 博史(NHK) / 木村 睦(龍谷大) / 志賀 智一(電通大) / 小南 裕子(静岡大) / 山口 留美子(秋田大) / 穐本 光弘(山口東京理科大) |
| 幹事補佐氏名（英） | / / Hiroshi Tsuji(NHK) / Mutsumi Kimura(Ryukoku Univ.) / Tomokazu Shiga(Univ. of Electro-Comm.) / Hiroko Kominami(Shizuoka Univ.) / Rumiko Yamaguchi(Akita Univ.) / Mitsuhiro Akimoto(Sanyo-Onoda City Univ) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Group on Information Display / * / Technical Committee on Electronic Information Displays / Society for Informtion Display Japan Chapter / Technical Group on Electron Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ミストCVD法により作製したナノ粒子分散(Zn,Mg)O薄膜へのアニールの効果 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | The effect of annealing on nanoparticle-dispersed (Zn,Mg)O thin films fabricated by mist CVD |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ミストCVD / mist CVD |
| キーワード(2)（和/英） | (Zn,Mg)O / (Zn,Mg)O |
| キーワード(3)（和/英） | 薄膜成長 / thin films growth |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 田中 京輔 / Kyosuke Tanaka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学(略称：静岡大) Shizuoka University(略称：Shizuoka Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 奈良 俊宏 / Toshihiro Nara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学(略称：静岡大) Shizuoka University(略称：Shizuoka Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 矢ヶ崎 司 / Tsukasa Yagasaki |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学(略称：静岡大) Shizuoka University(略称：Shizuoka Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 伊藤 里樹 / Riki Ito |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 静岡大学(略称：静岡大) Shizuoka University(略称：Shizuoka Univ.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 光野 徹也 / Tetsuya Kouno |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 静岡大学(略称：静岡大) Shizuoka University(略称：Shizuoka Univ.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 小南 裕子 / Hiroko Kominami |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 静岡大学(略称：静岡大) Shizuoka University(略称：Shizuoka Univ.) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 原 和彦 / Kazuhiko Hara |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 静岡大学(略称：静岡大) Shizuoka University(略称：Shizuoka Univ.) |
| 発表年月日 | 2023-01-27 |
| 資料番号 | EID2022-7 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | EID-366 |
| ページ範囲 | pp.13-16(EID), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-01-19 (EID) |