講演名 2022-11-04
希釈冷凍温度で動作するラテラル型過減衰Al/AlOx/Al接合の作製
星野 将弥(電通大), 水柿 義直(電通大), 島田 宏(電通大),
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抄録(和) 過減衰型Josephson接合が主に用いられる従来の超伝導エレクトロニクスに単一Cooper対素子を複合することを目的に,希釈冷凍温度で動作する過減衰特性をもつラテラル型のAl/AlOx/Al接合を簡便に作製するプロセスを開発した.プロセスは,単一Cooper対素子の作製プロセスに準拠し,Au薄膜からなるシャント抵抗に斜め蒸着法で作製するAl/AlOx/Al接合を接続する工程からなる.
抄録(英) In order to combine single Cooper-pair devices and the available superconducting electronics where overdamped Josephson junctions are often used, we have developed a fabrication process of lateral Al/AlOx/Al Josephson junctions which showed overdamped characteristics at dilution refrigeration temperatures. The junction is composed of an Al/AlOx/Al tunnel junction which is fabricated with shadow evaporation and a shunt resistor made of Au thin film.
キーワード(和) 過減衰型特性 / Al/AlOx/Al接合 / 希釈冷凍温度
キーワード(英) overdamped junction / Al/AlOx/Al junction / dilution refrigeration temperature
資料番号 SCE2022-9
発行日 2022-10-28 (SCE)

研究会情報
研究会 SCE
開催期間 2022/11/4(から1日開催)
開催地(和) 東北大学 電気通信研究所
開催地(英) RIEC, Tohoku Univ.
テーマ(和) 超伝導エレクトロニクス一般
テーマ(英) Superconducting Electronics
委員長氏名(和) 水柿 義直(電通大)
委員長氏名(英) Yoshinao Mizugaki(Univ. of Electro-Comm.)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和) 小野美 武(福岡工大) / 小山 大介(金沢工大)
幹事氏名(英) Takeshi Onomi(Fukuoka Inst. of Tech) / Daisuke Oyama(Kanazawa Inst. of Tech.)
幹事補佐氏名(和) 赤池 宏之(大同大)
幹事補佐氏名(英) Hiroyuki Akaike(Daido Univ.)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Technical Committee on Superconductive Electronics
本文の言語 JPN
タイトル(和) 希釈冷凍温度で動作するラテラル型過減衰Al/AlOx/Al接合の作製
サブタイトル(和)
タイトル(英) Fabrication of overdamped lateral Al/AlOx/Al junctions for the use at dilution refrigeration temperature
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) 過減衰型特性 / overdamped junction
キーワード(2)(和/英) Al/AlOx/Al接合 / Al/AlOx/Al junction
キーワード(3)(和/英) 希釈冷凍温度 / dilution refrigeration temperature
第 1 著者 氏名(和/英) 星野 将弥 / Masaya Hoshino
第 1 著者 所属(和/英) 電気通信大学(略称:電通大)
The University of Electro-Communications(略称:UEC)
第 2 著者 氏名(和/英) 水柿 義直 / Yoshinao Mizugaki
第 2 著者 所属(和/英) 電気通信大学(略称:電通大)
The University of Electro-Communications(略称:UEC)
第 3 著者 氏名(和/英) 島田 宏 / Hiroshi Shimada
第 3 著者 所属(和/英) 電気通信大学(略称:電通大)
The University of Electro-Communications(略称:UEC)
発表年月日 2022-11-04
資料番号 SCE2022-9
巻番号(vol) vol.122
号番号(no) SCE-240
ページ範囲 pp.1-5(SCE),
ページ数 5
発行日 2022-10-28 (SCE)