| 講演名 | 2022-11-30 大きさの異なる2つのコプレーナ型静電容量センサを用いた液滴の接触角推定手法 古田 翼(滋賀県立大), 土谷 亮(滋賀県立大), 井上 敏之(滋賀県立大), 岸根 桂路(滋賀県立大), |
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| 抄録(和) | 本研究では，コプレーナ型静電容量センサを用いた接触角推定手法を提案する．コプレーナ型静電容量センサのみでは液滴の頂点の高さを正確に求めることが困難であり，ゆえに液滴の接触角を推定することが困難であった．先行研究における手法では，2 つのコンデンサを用いることで接触角の推定を可能にしているが，この手法は任意の液滴の縁の位置に対して接触角の推定ができず，コンデンサの配置や液滴の位置によっては推定精度が下がるという問題があった．本論文では，大きさの異なる2 種類のコプレーナ型コンデンサにおいて，静電容量が飽和する誘電体の厚さが異なることを利用し，任意の液滴の縁の位置において液滴の接触角を推定する手法を考案した．また，電磁界解析によるシミュレーションにて，提案手法が液滴試料の比誘電率によらずに成立することを確認した． |
| 抄録(英) | In this paper, we propose a contact angle estimation using coplanar capacitors. To measure the shape of droplet on a chip, a difficulty is how to know the height of the droplet. A preliminary work proposed an estimation method using two types of capacitors. However, the preliminary work has a problem in accuracy due to spacing between capacitors. To solve this problem, we devise an estimation method by capacitors with different sizes. The proposed method is based on that the height where capacitance value saturates depends on the size of capacitor. We verify the proposed method by electromagnetic simulation. |
| キーワード(和) | Lab-on-a-Chip / 接触角 / 静電容量センサ |
| キーワード(英) | Lab-on-a-Chip / contact angle / capacitive sensor |
| 資料番号 | VLD2022-42,ICD2022-59,DC2022-58,RECONF2022-65 |
| 発行日 | 2022-11-21 (VLD, ICD, DC, RECONF) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | VLD / DC / RECONF / ICD / IPSJ-SLDM |
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| 開催期間 | 2022/11/28(から3日開催) |
| 開催地（和） | 金沢市文化ホール |
| 開催地（英） | Kanazawa Bunka Hall |
| テーマ（和） | デザインガイア2022 -VLSI設計の新しい大地- |
| テーマ（英） | Design Gaia 2022 -New Field of VLSI Design- |
| 委員長氏名（和） | 池田 奈美子(NTT) / 土屋 達弘(阪大) / 佐野 健太郎(理研) / 高橋 真史(キオクシア) / 越智 裕之(立命館大) |
| 委員長氏名（英） | Minako Ikeda(NTT) / Tatsuhiro Tsuchiya(Osaka Univ.) / Kentaro Sano(RIKEN) / Masafumi Takahashi(Kioxia) / Hiroyuki Ochi(Ritsumeikan Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 中武 繁寿(北九州市大) / 細川 利典(日大) / 山口 佳樹(筑波大) / 泉 知論(立命館大) / 池田 誠(東大) |
| 副委員長氏名（英） | Shigetoshi Nakatake(Univ. of Kitakyushu) / Toshinori Hosokawa(Nihon Univ.) / Yoshiki Yamaguchi(Tsukuba Univ.) / Tomonori Izumi(Ritsumeikan Univ.) / Makoto Ikeda(Univ. of Tokyo) |
| 幹事氏名（和） | 宮村 信(ナノブリッジ・セミコンダクター) / 今井 雅(弘前大) / 新井 雅之(日大) / 難波 一輝(千葉大) / 小林 悠記(NEC) / 佐藤 幸紀(豊橋技科大) / 新居 浩二(TSMCデザインテクノロジージャパン) / 宮地 幸祐(信州大) / 川村 一志(東工大) / 今川 隆司(明大) / 細田 浩希(ソニーセミコンダクタソリューションズ) / 田中 勇気(日立) |
| 幹事氏名（英） | Makoto Miyamura(NBS) / Masashi Imai(Hirosaki Univ.) / Masayuki Arai(Nihon Univ.) / Kazuteru Namba(Chiba Univ.) / Yuuki Kobayashi(NEC) / Yukinori Sato(Toyohashi Univ. of Tech.) / Koji Nii(TSMC) / Kosuke Miyaji(Shinshu Univ.) / Kazushi Kawamura(Tokyo Inst. of Tech.) / Takashi Imagawa(Meiji Univ.) / Hiroki Hosoda(Sony Semiconductor Solutions) / Yuki Tanaka(HITACHI) |
| 幹事補佐氏名（和） | 西元 琢真(日立) / / 竹村 幸尚(インテル) / 長名 保範(琉球大学) / 吉原 義昭(キオクシア) / 塩見 準(阪大) / 久保木 猛(ソニーセミコンダクタソリューションズ) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takuma Nishimoto(Hitachi) / / Yukitaka Takemura(INTEL) / Yasunori Osana(Ryukyu Univ.) / Yoshiaki Yoshihara(KIOXIA) / Jun Shiomi(Osaka Univ.) / Takeshi Kuboki(Sony Semiconductor Solutions) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on VLSI Design Technologies / Technical Committee on Dependable Computing / Technical Committee on Reconfigurable Systems / Technical Committee on Integrated Circuits and Devices / Special Interest Group on System and LSI Design Methodology |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 大きさの異なる2つのコプレーナ型静電容量センサを用いた液滴の接触角推定手法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A contact angle estimation method using two coplanar capacitive sensors of different sizes |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | Lab-on-a-Chip / Lab-on-a-Chip |
| キーワード(2)（和/英） | 接触角 / contact angle |
| キーワード(3)（和/英） | 静電容量センサ / capacitive sensor |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 古田 翼 / Tsubasa Furuta |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 滋賀県立大学(略称：滋賀県立大) University of Shiga prefecture(略称：USP) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 土谷 亮 / Akira Tsuchiya |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 滋賀県立大学(略称：滋賀県立大) University of Shiga prefecture(略称：USP) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 井上 敏之 / Toshiyuki Inoue |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 滋賀県立大学(略称：滋賀県立大) University of Shiga prefecture(略称：USP) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 岸根 桂路 / Keiji Kishine |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 滋賀県立大学(略称：滋賀県立大) University of Shiga prefecture(略称：USP) |
| 発表年月日 | 2022-11-30 |
| 資料番号 | VLD2022-42,ICD2022-59,DC2022-58,RECONF2022-65 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | VLD-283,ICD-284,DC-285,RECONF-286 |
| ページ範囲 | pp.133-137(VLD), pp.133-137(ICD), pp.133-137(DC), pp.133-137(RECONF), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2022-11-21 (VLD, ICD, DC, RECONF) |