| 講演名 | 2022-11-07 ［招待講演］異方性エッチングを用いた二段導波路型スポットサイズ変換器 田中 肇(住友電工), 山日 竜二(住友電工デバイス・イノベーション), 北村 崇光(住友電工デバイス・イノベーション/住友電工), 堀野 和彦(住友電工デバイス・イノベーション), 石川 務(住友電工), 江川 満(住友電工デバイス・イノベーション/住友電工), |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 年々増加する通信量に対応するため，コヒーレント通信は従来の遠距離通信から都市間・都市内やデータセンターなどの中〜近距離に用いられるようになってきた．化合物半導体であるInPは高速変調を実現する材料特性を保有しており，我々はInPを用いて小型かつ高速な多値変調素子を開発してきた．外部光学系と素子間における光結合損失の低減に有効とされるスポットサイズ変換器は，高効率とするために結晶再成長で集積されることが多い．本報告では異方性エッチングを利用することで，1回の結晶成長のみで集積可能とし，波長1.55 ?mにおいて0.93 dB，1.52~1.58 ?mの範囲で1.3 dB以下の結合損失を実現した． |
| 抄録(英) | Coherent technology has been widely used from long haul to metro network. InP is a material having unique characteristics for realizing high speed modulation, and we have developed high speed and small size InP-based dual-polarization In-phase and Quadrature modulator. Spot size converter (SSC) is key structure for reducing optical loss between modulator and optical lens. However, SSC with low optical loss needed 2nd epitaxial growth to integrate with modulator. We demonstrated SSC having two stories employing anisotropic etching process with 1.3 dB loss in 1.52~1.58 ?m wavelength. |
| キーワード(和) | スポットサイズ変換器 / 異方性エッチング / 多値変調素子 / InP / コヒーレント |
| キーワード(英) | SSC / Spot size converter / Anisotropic etching / In-phase and Quadrature modulator / InP / Coherent |
| 資料番号 | PN2022-25 |
| 発行日 | 2022-10-31 (PN) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | PN |
|---|---|
| 開催期間 | 2022/11/7(から2日開催) |
| 開催地（和） | 高知城歴史博物館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | エラスティックネットワーク、フレキシブルネットワーク、光ネットワーク制御・プロトコル、トランスポートSDN、IPバックボーン、空間多重(SDM)、モード多重、光ネットワークデバイス、JPNモデル、EXATおよび一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 古川 英昭(NICT) |
| 委員長氏名（英） | Hideaki Furukawa(NICT) |
| 副委員長氏名（和） | 塩本 公平(東京都市大) / 杉崎 隆一(古河電工) / 吉兼 昇(KDDI総合研究所) |
| 副委員長氏名（英） | Kohei Shiomoto(Tokyo City Univ.) / Ryuichi Sugizaki(Furukawa Electric) / Noboru Yoshikane(KDDI Research) |
| 幹事氏名（和） | 中川 雅弘(NTT) / 松浦 基晴(電通大) |
| 幹事氏名（英） | Masahiro Nakagawa(NTT) / Motoharu Matsuura(Univ. of Electr-Comm.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 石井 健二(三菱電機) / 森 洋二郎(名大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Kenji Ishii(Mitsubishi Electric) / Yojiro Mori(Nagoya Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Photonic Network |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］異方性エッチングを用いた二段導波路型スポットサイズ変換器 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Spot size converter having two stories employing anisotropic etching process |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | スポットサイズ変換器 / SSC |
| キーワード(2)（和/英） | 異方性エッチング / Spot size converter |
| キーワード(3)（和/英） | 多値変調素子 / Anisotropic etching |
| キーワード(4)（和/英） | InP / In-phase and Quadrature modulator |
| キーワード(5)（和/英） | コヒーレント / InP |
| キーワード(6)（和/英） | / Coherent |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 田中 肇 / Hajime Tanaka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社(略称：住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd.(略称：SEI) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 山日 竜二 / Ryuji Yamabi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社(略称：住友電工デバイス・イノベーション) SUMITOMO ELECTRIC DEVICE INNOVATIONS, INC.(略称：SEDI) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 北村 崇光 / Takamitsu Kitamura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社/住友電気工業株式会社(略称：住友電工デバイス・イノベーション/住友電工) SUMITOMO ELECTRIC DEVICE INNOVATIONS, INC./Sumitomo Electric Industries, Ltd.(略称：SEDI/SEI) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 堀野 和彦 / Hotino Kazuhiko |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社(略称：住友電工デバイス・イノベーション) SUMITOMO ELECTRIC DEVICE INNOVATIONS, INC.(略称：SEDI) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 石川 務 / Ishikawa Tsutomu |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 住友電気工業株式会社(略称：住友電工) Sumitomo Electric Industries, Ltd.(略称：SEI) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 江川 満 / Mitsuru Ekawa |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 住友電工デバイス・イノベーション株式会社/住友電気工業株式会社(略称：住友電工デバイス・イノベーション/住友電工) SUMITOMO ELECTRIC DEVICE INNOVATIONS, INC./Sumitomo Electric Industries, Ltd.(略称：SEDI/SEI) |
| 発表年月日 | 2022-11-07 |
| 資料番号 | PN2022-25 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | PN-242 |
| ページ範囲 | pp.22-27(PN), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2022-10-31 (PN) |