| 講演名 | 2022-11-17 エラー検出付き光学的線形判別フィルタを利用した誘電体表面の微細凹凸識別の汎化能力改善 島田 慎吾(北見工大), 杉坂 純一郎(北見工大), 平山 浩一(北見工大), 安井 崇(北見工大), |
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| 抄録(和) | 物体表面の凹凸を高精度で識別するために，様々な光計測手法が開発されている．しかし，照明光の波長以下の微細な構造に関しては，形状と散乱波の関係が複雑になるため正確に凹凸を識別することは困難である．本研究では誘電体表面の微細な欠陥の凹凸を識別するための光学フィルタを設計する．このフィルタは，Fisher の線形判別分析を光学的に実装しており，フィルタ透過後の光強度値と閾値を比較することで識別することが可能である．1 枚のフィルタのみでは識別精度が十分でなく，識別エラーを検出する別のフィルタを追加し，識別精度の改善を試みる．数値シミュレーションで識別テストを行い，提案手法の効果を検証する． |
| 抄録(英) | Various optical measurement methods have been developed to precisely identify the defects on the surface of dielectric substrate. However, it is difficult to accurately identify when the defect is smaller than the wavelength of illumination because the relation of scattered waves and the defect shape becomes complicated. In this study, an optical filter is designed to discriminate the concavity and convexity of the defect. The filter is designed as optical implementation of Fisher’s linear discriminant analysis, and can discriminate by comparing the intensity after transmitting the filter with a threshold value. We further designed another filter to detect the discrimination error. Compared with a single filter, we show the effect of the second filter by numerical simulation. |
| キーワード(和) | 逆散乱解析 / 光計測 / 計算機合成ホログラム / Fisherの線形判別分析 / 境界要素法 |
| キーワード(英) | inverse-scattering analysis / optical measurement / computer-generated hologram / Fisher’s linear discriminant analysis / boundary element method |
| 資料番号 | EMT2022-53 |
| 発行日 | 2022-11-10 (EMT) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMT / IEE-EMT |
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| 開催期間 | 2022/11/17(から3日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 電磁界理論一般 |
| テーマ（英） | Electromagnetic Theory, etc. |
| 委員長氏名（和） | 出口 博之(同志社大) / 古川 愼一(日大) |
| 委員長氏名（英） | Hiroyuki Deguchi(Doshisha Univ.) / Shinichi Furukawa(Nihon Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 川口 秀樹(室蘭工大) |
| 副委員長氏名（英） | Hideki Kawaguchi(Muroran Inst. of Tech) |
| 幹事氏名（和） | 山本 伸一(三菱電機) / 石田 健一(九州産業大) / 鈴木 敬久(都立大) / 中 良弘(宮崎大) |
| 幹事氏名（英） | Shinichi Yamamoto(Mitsubishi Electric) / Kenichi Ishida(Kyushu Sangyo Univ.) / Yukihisa Suzuki(Tokyo Metropolitan Univ.) / Yoshihiro Naka(Univ. of Miyazaki) |
| 幹事補佐氏名（和） | 夏秋 嶺(東大) / 新納 和樹(京大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Ryo Natsuaki(Univ. of Tokyo) / Kazuki Niino(Kyoto Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electromagnetic Theory / Technical Meeting on Electromagnetic Theory |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | エラー検出付き光学的線形判別フィルタを利用した誘電体表面の微細凹凸識別の汎化能力改善 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Generalization capability improvement of fine-defect discrimination on dielectric surface using optical linear discrimination analysis filter with error detection |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 逆散乱解析 / inverse-scattering analysis |
| キーワード(2)（和/英） | 光計測 / optical measurement |
| キーワード(3)（和/英） | 計算機合成ホログラム / computer-generated hologram |
| キーワード(4)（和/英） | Fisherの線形判別分析 / Fisher’s linear discriminant analysis |
| キーワード(5)（和/英） | 境界要素法 / boundary element method |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 島田 慎吾 / Shingo Shimada |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 北見工業大学(略称：北見工大) Kitami Institute of Technology(略称：Kitami Inst. Tech.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 杉坂 純一郎 / Jun-ichiro Sugisaka |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 北見工業大学(略称：北見工大) Kitami Institute of Technology(略称：Kitami Inst. Tech.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 平山 浩一 / Koichi Hirayama |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 北見工業大学(略称：北見工大) Kitami Institute of Technology(略称：Kitami Inst. Tech.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 安井 崇 / Takashi Yasui |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 北見工業大学(略称：北見工大) Kitami Institute of Technology(略称：Kitami Inst. Tech.) |
| 発表年月日 | 2022-11-17 |
| 資料番号 | EMT2022-53 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | EMT-256 |
| ページ範囲 | pp.53-58(EMT), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2022-11-10 (EMT) |