| 講演名 | 2022-10-12 CapsNetを用いた高解像度ウェハマップの欠陥パターン分類法に関する考察 山中 祐輝(都立大), 永村 美一(都立大), 新井 雅之(日大), 福本 聡(都立大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | CPSY2022-22,DC2022-22 |
| 発行日 | 2022-10-04 (CPSY, DC) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPSY / DC / IPSJ-ARC |
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| 開催期間 | 2022/10/11(から2日開催) |
| 開催地（和） | 湯沢東映ホテル |
| 開催地（英） | Yuzawa Toei Hotel |
| テーマ（和） | HotSPA2022: アーキテクチャ, コンピュータシステム, ディペンダブルコンピューティング および一般 |
| テーマ（英） | System Architecture, Computer Systems, Dependable Computing, etc. |
| 委員長氏名（和） | 鯉渕 道紘(NII) / 土屋 達弘(阪大) / 津邑 公暁(名工大) |
| 委員長氏名（英） | Michihiro Koibuchi(NII) / Tatsuhiro Tsuchiya(Osaka Univ.) / Tomoaki Tsumura(Nagoya Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 中島 耕太(富士通研) / 津邑 公暁(名工大) / 細川 利典(日大) |
| 副委員長氏名（英） | Kota Nakajima(Fujitsu Lab.) / Tomoaki Tsumura(Nagoya Inst. of Tech.) / Toshinori Hosokawa(Nihon Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 井口 寧(北陸先端大) / 小川 周吾(日立) / 新井 雅之(日大) / 難波 一輝(千葉大) / 今村 智史(富士通研) / 谷本 輝夫(九大) / 新田 高庸(会津大) / 八巻 隼人(電通大) |
| 幹事氏名（英） | Yasushi Inoguchi(JAIST) / Shugo Ogawa(Hitachi) / Masayuki Arai(Nihon Univ.) / Kazuteru Namba(Chiba Univ.) / Satoshi Imamura(Fujitsu Labs.) / Teruo Tanimoto(Kyushu Univ.) / 新田 高庸(会津大) / 八巻 隼人(電通大) |
| 幹事補佐氏名（和） | 小林 諒平(筑波大) / 宮島 敬明(明大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Ryohei Kobayashi(Tsukuba Univ.) / Takaaki Miyajima(Meiji Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Computer Systems / Technical Committee on Dependable Computing / Special Interest Group on System Architecture |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | CapsNetを用いた高解像度ウェハマップの欠陥パターン分類法に関する考察 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Study on Hi-Resolution Wafer Map Defect Pattern Classification Using CapsNet |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山中 祐輝 / Yuki Yamanaka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京都立大学(略称：都立大) Tokyo Metropolitan University(略称：Tokyo Metropolitan Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 永村 美一 / Yoshikazu Nagamura |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京都立大学(略称：都立大) Tokyo Metropolitan University(略称：Tokyo Metropolitan Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 新井 雅之 / Masayuki Arai |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本大学(略称：日大) Nhon University(略称：Nihon Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 福本 聡 / Satoshi Hukumoto |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京都立大学(略称：都立大) Tokyo Metropolitan University(略称：Tokyo Metropolitan Univ.) |
| 発表年月日 | 2022-10-12 |
| 資料番号 | CPSY2022-22,DC2022-22 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | CPSY-204,DC-205 |
| ページ範囲 | pp.26-30(CPSY), pp.26-30(DC), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2022-10-04 (CPSY, DC) |