| 講演名 | 2022-10-20 ハイメサセンシング導波路と集積したナノピクセル構造を用いた非対称パワースプリッタ 嶋村 雄太(九大), 桒畑 亮太(九大), 山内 健生(九大), キム ユンジン(九大), 田部井 哲夫(広島大), 姜 海松(九大), 浜本 貴一(九大), |
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| 抄録(和) | 光集積回路を用いた小型呼気センシングシステムの研究開発を進めている。特にppmオーダーと微量の呼気中病気マーカー検出のためのセンサーの高感度にはセンシング導波路実効光路長の長路化が重要で、非対称分岐素子を集積した多重光ループ構成をこれまでに検討してきている。また所望の分岐比で非対称分岐を実現する光回路設計技術として、我々はこれまでにナノピクセルを用いた非対称分岐導波路を提案してきているが、センシング導波路との一括集積を実現しようとすると、100 nm以下の超微細加工と、1 ?m程度の高アスペクト比加工とを両立して実現させる必要があり、その製作方法には課題があった。 そこで今回、ハイメサセンシング導波路とナノピクセル非対称分岐導波路との一括集積技術を検討した。その結果、SiO2に対して比較的高い選択比でのエッチングにより、呼気をセンシングハイメサ導波路とナノピクセル構造を用いた非対称パワースプリッタの一括形成に成功した。また試作素子の分岐特性について、その基本特性を確認したので報告する。 |
| 抄録(英) | Compact breath sensing system using optical integrated circuits have been researched for daily heath-check. In particular, a long effective optical path length of the sensing waveguide is important for the high sensitivity for the detection of disease markers in exhaled breath of ppm-order or lower. We have also proposed an asymmetric power-splitter waveguide using nano-pixels, however, the fabrication method has been a challenge because it is necessary to achieve both ultrafine processing of around 100 nm scale and deep dry-etching for high-mesa sensing waveguide which requires around 1 ?m. In this paper, we investigated an integration process of high-mesa sensing waveguide and nano-pixel asymmetric power-splitter . As a result, we have successfully realized high-mesa waveguide and an asymmetric power splitter integration by 2-step dry-etching. |
| キーワード(和) | 光集積回路 / ハイメサ導波路 / パワースプリッタ / ナノピクセル / ドライエッチング |
| キーワード(英) | PICs / High-mesa waveguide / Power splitter / Nano-pixel / Dry-etching |
| 資料番号 | OCS2022-24,OPE2022-70,LQE2022-33 |
| 発行日 | 2022-10-13 (OCS, OPE, LQE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OPE / OCS / LQE |
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| 開催期間 | 2022/10/20(から2日開催) |
| 開催地（和） | 松山市民会館 小ホール |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 超高速伝送・変復調・分散補償技術，超高速光信号処理技術，広帯域光増幅・WDM技術，受光デバイス，高光出力伝送技術，及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 橋本 俊和(NTT) / 星田 剛司(富士通) / 高原 淳一(阪大) |
| 委員長氏名（英） | Toshikazu Hashimoto(NTT) / Takeshi Hoshida(Fujitsu) / Junichi Takahara(Osaka Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 荒川 太郎(横浜国大) / / 西村 公佐(KDDI総合研究所) |
| 副委員長氏名（英） | Taro Arakawa(Yokohama National Univ.) / / Kosuke Nishimura(KDDI Research) |
| 幹事氏名（和） | 小林 弘和(高知工科大) / 村尾 覚志(三菱電機) / 山本 秀人(NTT) / 川口 雄揮(住友電工) / 田中 信介(富士通) / 藤田 和上(浜松ホトニクス) |
| 幹事氏名（英） | Hirokazu Kobayashi(Kochi Univ. of Tech) / Tadashi Murao(Mitsubishi Electric) / Shuto Yamamoto(NTT) / Yuki Kawaguchi(Sumitomo Electric Industries) / Shinsuke Tanaka(Fujitsu) / Kazuue Fujita(Hamamatsu Photonics) |
| 幹事補佐氏名（和） | 石坂 雄平(関東学院大) / 梅木 毅伺(NTT) / / 西島 喜明(横浜国大) / 西山 伸彦(東工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yuhei Ishizaka(Kanto Gakuin Univ.) / Takeshi Umeki(NTT) / / Yoshiaki Nishijima(Yokohama National Univ.) / Nobuhiko Nishiyama(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on OptoElectronics / Technical Committee on Optical Communication Systems / Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ハイメサセンシング導波路と集積したナノピクセル構造を用いた非対称パワースプリッタ |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Asymmetric Power Splitter using Nano-Pixel Structure Integrated with High-Mesa Sensing Waveguide |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 光集積回路 / PICs |
| キーワード(2)（和/英） | ハイメサ導波路 / High-mesa waveguide |
| キーワード(3)（和/英） | パワースプリッタ / Power splitter |
| キーワード(4)（和/英） | ナノピクセル / Nano-pixel |
| キーワード(5)（和/英） | ドライエッチング / Dry-etching |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 嶋村 雄太 / Yuta Shimamura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 九州大学(略称：九大) Kyushu University(略称：Kyushu Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 桒畑 亮太 / Ryota Kuwahata |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 九州大学(略称：九大) Kyushu University(略称：Kyushu Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 山内 健生 / Kensei Yamauchi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 九州大学(略称：九大) Kyushu University(略称：Kyushu Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | キム ユンジン / Yunjin Kim |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 九州大学(略称：九大) Kyushu University(略称：Kyushu Univ.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 田部井 哲夫 / Tetsuo Tabei |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 広島大学(略称：広島大) Hiroshima University(略称：Hiroshima Univ.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 姜 海松 / Haisong Jiang |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 九州大学(略称：九大) Kyushu University(略称：Kyushu Univ.) |
| 第 7 著者 氏名（和/英） | 浜本 貴一 / Kiichi Hamamoto |
| 第 7 著者 所属（和/英） | 九州大学(略称：九大) Kyushu University(略称：Kyushu Univ.) |
| 発表年月日 | 2022-10-20 |
| 資料番号 | OCS2022-24,OPE2022-70,LQE2022-33 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | OCS-216,OPE-217,LQE-218 |
| ページ範囲 | pp.40-44(OCS), pp.40-44(OPE), pp.40-44(LQE), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2022-10-13 (OCS, OPE, LQE) |