| 講演名 | 2022-08-05 大気圧化学気相堆積法によるr面サファイア基板上へのβ-Ga2O3及びZnGa2O4薄膜成長 寺迫 智昭(愛媛大), 濱園 龍一(愛媛大), 矢木 正和(香川高専), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | CPM2022-18 |
| 発行日 | 2022-07-28 (CPM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2022/8/4(から2日開催) |
| 開催地（和） | 北見工業大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 中村 雄一(豊橋技科大) |
| 委員長氏名（英） | Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 中澤 日出樹(弘前大) |
| 副委員長氏名（英） | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 寺迫 智昭(愛媛大) / 武山 真弓(北見工大) |
| 幹事氏名（英） | Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) |
| 幹事補佐氏名（和） | 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 番場 教子(信州大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Noriko Bamba(Shinshu Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 大気圧化学気相堆積法によるr面サファイア基板上へのβ-Ga2O3及びZnGa2O4薄膜成長 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Atmospheric-pressure Chemical Vapor Deposition of β-Ga2O3 and ZnGa2O4 Thin Films on Sapphire Substrates |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 寺迫 智昭 / Tomoaki Terasako |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 愛媛大学(略称：愛媛大) Ehime University(略称：Ehime Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 濱園 龍一 / Ryuichi Hamazono |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 愛媛大学(略称：愛媛大) Ehime University(略称：Ehime Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 矢木 正和 / Masakazu Yagi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 香川高等専門学校(略称：香川高専) National Institute of Technology, Kagawa College(略称：Natl. Inst. Technol. Kagawa Coll.) |
| 発表年月日 | 2022-08-05 |
| 資料番号 | CPM2022-18 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | CPM-147 |
| ページ範囲 | pp.26-29(CPM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2022-07-28 (CPM) |