講演名 | 2022-08-05 低温成膜したSiNx膜の特性 新出 航大(北見工大), 佐藤 勝(北見工大), 武山 真弓(北見工大), |
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抄録(和) | |
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キーワード(和) | |
キーワード(英) | |
資料番号 | CPM2022-20 |
発行日 | 2022-07-28 (CPM) |
研究会情報 | |
研究会 | CPM |
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開催期間 | 2022/8/4(から2日開催) |
開催地(和) | 北見工業大学 |
開催地(英) | |
テーマ(和) | 電子部品・材料,一般 |
テーマ(英) | |
委員長氏名(和) | 中村 雄一(豊橋技科大) |
委員長氏名(英) | Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
副委員長氏名(和) | 中澤 日出樹(弘前大) |
副委員長氏名(英) | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) |
幹事氏名(和) | 寺迫 智昭(愛媛大) / 武山 真弓(北見工大) |
幹事氏名(英) | Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) |
幹事補佐氏名(和) | 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 番場 教子(信州大) |
幹事補佐氏名(英) | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Noriko Bamba(Shinshu Univ.) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 低温成膜したSiNx膜の特性 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Characterization of SiNx Film Deposited at low Temperatures |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | |
第 1 著者 氏名(和/英) | 新出 航大 / Kota Niide |
第 1 著者 所属(和/英) | 北見工業大学(略称:北見工大) Kitami Institute of Technology(略称:KIT) |
第 2 著者 氏名(和/英) | 佐藤 勝 / Masaru Sato |
第 2 著者 所属(和/英) | 北見工業大学(略称:北見工大) Kitami Institute of Technology(略称:KIT) |
第 3 著者 氏名(和/英) | 武山 真弓 / Mayumi B. Takeyama |
第 3 著者 所属(和/英) | 北見工業大学(略称:北見工大) Kitami Institute of Technology(略称:KIT) |
発表年月日 | 2022-08-05 |
資料番号 | CPM2022-20 |
巻番号(vol) | vol.122 |
号番号(no) | CPM-147 |
ページ範囲 | pp.32-33(CPM), |
ページ数 | 2 |
発行日 | 2022-07-28 (CPM) |