講演名 2022-05-27
多端子ホール素子によるオーミック金属下半導体の特性評価法
瓜生 和也(北陸先端大/アドバンテスト研), 木内 翔太(北陸先端大), 佐藤 拓(アドバンテスト研), 鈴木 寿一(北陸先端大),
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抄録(和) 一般に, オーミック金属下半導体の電気的特性は, オーミックコンタクト形成前から変化している. これまでに, オーミック金属下における半導体のシート抵抗測定方法は知られていたが, シートキャリア密度および移動度を評価する手法はなかった. 我々は, オーミック金属下半導体のシート抵抗に加え, シートキャリア密度と移動度を評価する方法として, 多端子ホール素子を用いた手法を開発した. この手法をAlGaN/GaNヘテロ構造へ適用し, オーミック金属下の特性を明らかにした.
抄録(英)
キーワード(和) AlGaN/GaN / オーミックコンタクト / 多端子ホール測定
キーワード(英) AlGaN/GaN / Ohmic contact / multi-probe Hall measurement
資料番号 ED2022-15,CPM2022-9,SDM2022-22
発行日 2022-05-20 (ED, CPM, SDM)

研究会情報
研究会 SDM / ED / CPM
開催期間 2022/5/27(から1日開催)
開催地(和) オンライン開催
開催地(英) Online
テーマ(和) 機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術
テーマ(英) Functional Device Materials, Fabrication, Characterization, and Related Technology
委員長氏名(和) 平野 博茂(タワー パートナーズ セミコンダクター) / 藤代 博記(東京理科大) / 中村 雄一(豊橋技科大)
委員長氏名(英) Hiroshige Hirano(TowerPartners Semiconductor) / Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.)
副委員長氏名(和) 大見 俊一郎(東工大) / 葛西 誠也(北大) / 中澤 日出樹(弘前大)
副委員長氏名(英) Shunichiro Ohmi(Tokyo Inst. of Tech.) / Seiya Sakai(Hokkaido Univ.) / Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.)
幹事氏名(和) 森 貴洋(産総研) / 小林 伸彰(日大) / 小谷 淳二(富士通研) / 堤 卓也(NTT) / 寺迫 智昭(愛媛大) / 武山 真弓(北見工大)
幹事氏名(英) Takahiro Mori(AIST) / Nobuaki Kobayashi(Nihon Univ.) / Junji Kotani(Fjitsu Lab.) / Takuya Tsutsumi(NTT) / Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech)
幹事補佐氏名(和) 野田 泰史(パナソニック) / 諏訪 智之(東北大) / 磯野 僚多(サイオクス) / 山本 佳嗣(三菱電機) / 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 番場 教子(信州大)
幹事補佐氏名(英) Taiji Noda(Panasonic) / Tomoyuki Suwa(Tohoku Univ.) / Ryota Isonoi(SCIOCS) / Yoshitugu Yamamoto(Mitsubishi Electric) / Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Noriko Bamba(Shinshu Univ.)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Committee on Electron Devices / Technical Committee on Component Parts and Materials
本文の言語 JPN
タイトル(和) 多端子ホール素子によるオーミック金属下半導体の特性評価法
サブタイトル(和)
タイトル(英) Characterization method of semiconductors under Ohmic-metals by using multi-probe Hall devices
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) AlGaN/GaN / AlGaN/GaN
キーワード(2)(和/英) オーミックコンタクト / Ohmic contact
キーワード(3)(和/英) 多端子ホール測定 / multi-probe Hall measurement
第 1 著者 氏名(和/英) 瓜生 和也 / Kazuya Uryu
第 1 著者 所属(和/英) 北陸先端科学技術大学院大学/アドバンテスト研究所(略称:北陸先端大/アドバンテスト研)
Japan Advanced Institute of Science and Technology/Advantest Laboratories Ltd.(略称:JAIST/ATL)
第 2 著者 氏名(和/英) 木内 翔太 / Shota Kiuchi
第 2 著者 所属(和/英) 北陸先端科学技術大学院大学(略称:北陸先端大)
Japan Advanced Institute of Science and Technology(略称:JAIST)
第 3 著者 氏名(和/英) 佐藤 拓 / Taku Sato
第 3 著者 所属(和/英) アドバンテスト研究所(略称:アドバンテスト研)
Advantest Laboratories Ltd.(略称:ATL)
第 4 著者 氏名(和/英) 鈴木 寿一 / Toshi-kazu Suzuki
第 4 著者 所属(和/英) 北陸先端科学技術大学院大学(略称:北陸先端大)
Japan Advanced Institute of Science and Technology(略称:JAIST)
発表年月日 2022-05-27
資料番号 ED2022-15,CPM2022-9,SDM2022-22
巻番号(vol) vol.122
号番号(no) ED-52,CPM-53,SDM-54
ページ範囲 pp.35-38(ED), pp.35-38(CPM), pp.35-38(SDM),
ページ数 4
発行日 2022-05-20 (ED, CPM, SDM)