| 講演名 | 2022-05-27 自由電子レーザ照射による周期的微細構造生成 野平 真義(日大), 星野 陽太(日大), 岩田 展幸(日大), |
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| 抄録(和) | 自由電子レーザを用いて周期的構造の生成を試みた。SiO2 (300 nm)/Si基板にフルバンチで、照射位置を2000、2500nmではそれぞれ50μm移動し、 3000、3500nmではそれぞれ10μ移動しレーザを照射した。1マクロパルス照射するごとに照射位置を移動させた。2000、2500 nmでは中心部に凸状突起を持つ構造を観察した。この構造の生成において波長は大きく関わっていないと考えている。3000、3500 nmでは波状の構造を確認した。この波状の構造は照射位置の移動により生成したものと考えている。バーストモードでの照射では間隔が波長程度の二つ穴構造を観察した。 |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | LIPSS / 自由電子レーザ / FEL / 微細周期構造 / レーザ加工 |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | ED2022-9,CPM2022-3,SDM2022-16 |
| 発行日 | 2022-05-20 (ED, CPM, SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM / ED / CPM |
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| 開催期間 | 2022/5/27(から1日開催) |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 |
| テーマ（英） | Functional Device Materials, Fabrication, Characterization, and Related Technology |
| 委員長氏名（和） | 平野 博茂(タワー パートナーズ セミコンダクター) / 藤代 博記(東京理科大) / 中村 雄一(豊橋技科大) |
| 委員長氏名（英） | Hiroshige Hirano(TowerPartners Semiconductor) / Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 大見 俊一郎(東工大) / 葛西 誠也(北大) / 中澤 日出樹(弘前大) |
| 副委員長氏名（英） | Shunichiro Ohmi(Tokyo Inst. of Tech.) / Seiya Sakai(Hokkaido Univ.) / Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 森 貴洋(産総研) / 小林 伸彰(日大) / 小谷 淳二(富士通研) / 堤 卓也(NTT) / 寺迫 智昭(愛媛大) / 武山 真弓(北見工大) |
| 幹事氏名（英） | Takahiro Mori(AIST) / Nobuaki Kobayashi(Nihon Univ.) / Junji Kotani(Fjitsu Lab.) / Takuya Tsutsumi(NTT) / Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) |
| 幹事補佐氏名（和） | 野田 泰史(パナソニック) / 諏訪 智之(東北大) / 磯野 僚多(サイオクス) / 山本 佳嗣(三菱電機) / 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 番場 教子(信州大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Taiji Noda(Panasonic) / Tomoyuki Suwa(Tohoku Univ.) / Ryota Isonoi(SCIOCS) / Yoshitugu Yamamoto(Mitsubishi Electric) / Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Noriko Bamba(Shinshu Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Committee on Electron Devices / Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 自由電子レーザ照射による周期的微細構造生成 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Formation of Periodical Unique Structure by Free Electron Laser Irradiation |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | LIPSS |
| キーワード(2)（和/英） | 自由電子レーザ |
| キーワード(3)（和/英） | FEL |
| キーワード(4)（和/英） | 微細周期構造 |
| キーワード(5)（和/英） | レーザ加工 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 野平 真義 / Masayoshi Nohira |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 日本大学(略称：日大) Nihon University(略称：Nihon Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 星野 陽太 / Youta Hoshino |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 日本大学(略称：日大) Nihon University(略称：Nihon Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 岩田 展幸 / Nobuyuki Iwata |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 日本大学(略称：日大) Nihon University(略称：Nihon Univ.) |
| 発表年月日 | 2022-05-27 |
| 資料番号 | ED2022-9,CPM2022-3,SDM2022-16 |
| 巻番号（vol） | vol.122 |
| 号番号（no） | ED-52,CPM-53,SDM-54 |
| ページ範囲 | pp.9-12(ED), pp.9-12(CPM), pp.9-12(SDM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2022-05-20 (ED, CPM, SDM) |