講演名 | 2022-03-01 CapsNetを用いた多重欠陥ウェハマップ不良パターンの分類に関する一考察 藤田 樹(都立大), 新井 雅之(日大), 松田 忠勝(日大), 永村 美一(都立大), 福本 聡(都立大), |
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抄録(和) | |
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資料番号 | DC2021-78 |
発行日 | 2022-02-22 (DC) |
研究会情報 | |
研究会 | DC |
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開催期間 | 2022/3/1(から1日開催) |
開催地(和) | 機械振興会館 |
開催地(英) | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
テーマ(和) | VLSI設計とテストおよび一般 |
テーマ(英) | |
委員長氏名(和) | 高橋 寛(愛媛大) |
委員長氏名(英) | Hiroshi Takahashi(Ehime Univ.) |
副委員長氏名(和) | 土屋 達弘(阪大) |
副委員長氏名(英) | Tatsuhiro Tsuchiya(Osaka Univ.) |
幹事氏名(和) | 新井 雅之(日大) / 難波 一輝(千葉大) |
幹事氏名(英) | Masayuki Arai(Nihon Univ.) / Kazuteru Namba(Chiba Univ.) |
幹事補佐氏名(和) | |
幹事補佐氏名(英) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Technical Committee on Dependable Computing |
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本文の言語 | JPN-ONLY |
タイトル(和) | CapsNetを用いた多重欠陥ウェハマップ不良パターンの分類に関する一考察 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | |
第 1 著者 氏名(和/英) | 藤田 樹 / Itsuki Fujita |
第 1 著者 所属(和/英) | 東京都立大学(略称:都立大) Tokyo Metropolitan University(略称:Tokyo Metro. Univ.) |
第 2 著者 氏名(和/英) | 新井 雅之 / Masayuki Arai |
第 2 著者 所属(和/英) | 日本大学(略称:日大) Nihon University(略称:Nihon Univ.) |
第 3 著者 氏名(和/英) | 松田 忠勝 / Tadakatsu Matsuda |
第 3 著者 所属(和/英) | 日本大学(略称:日大) Nihon University(略称:Nihon Univ.) |
第 4 著者 氏名(和/英) | 永村 美一 / Yoshikazu Nagamura |
第 4 著者 所属(和/英) | 東京都立大学(略称:都立大) Tokyo Metropolitan University(略称:Tokyo Metro. Univ.) |
第 5 著者 氏名(和/英) | 福本 聡 / Satoshi Fukumoto |
第 5 著者 所属(和/英) | 東京都立大学(略称:都立大) Tokyo Metropolitan University(略称:Tokyo Metro. Univ.) |
発表年月日 | 2022-03-01 |
資料番号 | DC2021-78 |
巻番号(vol) | vol.121 |
号番号(no) | DC-388 |
ページ範囲 | pp.81-86(DC), |
ページ数 | 6 |
発行日 | 2022-02-22 (DC) |