| 講演名 | 2022-03-01 ［依頼講演］非線形スペクトル変化によるシリコン導波路の内部構造モデリング手法の感度の向上 倉橋 朋也(阪大), 牧野 将之(阪大), 上川 涼平(阪大), 小西 毅(阪大), |
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| 抄録(和) | シリコン導波路デバイスをはじめ微細加工技術を用いた光デバイスの製造評価には内部構造のモデリングが重要であり，伝搬軸に沿った構造の分布計測が必要となる．これまでに我々は，プローブ光パルスの誘引する非線形スペクトル変化を用いた非破壊な内部構造モデリング手法を提案し，シリコン導波路の構造モデリングに対する有効性を確認している．本手法を用いてシリコン導波路の内部構造モデリングを精度よく行う際には，導波路内での非線形スペクトル変化の十分な誘引が重要となる．本研究では，導波路内での非線形スペクトル変化が十分に得られない状況において，計測の感度を向上させる方法を提案し，その有効性について検討する． |
| 抄録(英) | The evaluation of the fabrication quality of microfabricated optical devices requires modeling their internal structures along with the propagation axis. Previously, we have proposed an evaluation method for the internal structure models along with the propagation axis based on the accumulated nonlinear spectral change and data assimilation. However, if the spectral change is not sufficient, the assessment error could increase. In this study, we propose a new measurement system for structure modeling to improve its accuracy and confirm its effectiveness. |
| キーワード(和) | シリコンフォトニクス / 非線形光学効果 / 光デバイス / 構造モデリング |
| キーワード(英) | Silicon photonics / Nonlinear optical effect / Optical devices / Structure modeling |
| 資料番号 | PN2021-64 |
| 発行日 | 2022-02-22 (PN) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | PN |
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| 開催期間 | 2022/3/1(から2日開催) |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | フォトニックネットワーク関連技術，一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 古川 英昭(NICT) |
| 委員長氏名（英） | Hideaki Furukawa(NICT) |
| 副委員長氏名（和） | 塩本 公平(東京都市大) / 杉崎 隆一(古河電工) / 吉兼 昇(KDDI総合研究所) |
| 副委員長氏名（英） | Kohei Shiomoto(Tokyo City Univ.) / Ryuichi Sugizaki(Furukawa Electric) / Noboru Yoshikane(KDDI Research) |
| 幹事氏名（和） | 中川 雅弘(NTT) / 松浦 基晴(電通大) |
| 幹事氏名（英） | Masahiro Nakagawa(NTT) / Motoharu Matsuura(Univ. of Electr-Comm.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 石井 健二(三菱電機) / 森 洋二郎(名大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Kenji Ishii(Mitsubishi Electric) / Yojiro Mori(Nagoya Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Photonic Network |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［依頼講演］非線形スペクトル変化によるシリコン導波路の内部構造モデリング手法の感度の向上 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Lecture] Enhancement of measurement sensitivity in an internal structure modeling method for silicon waveguides using nonlinear spectral change |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコンフォトニクス / Silicon photonics |
| キーワード(2)（和/英） | 非線形光学効果 / Nonlinear optical effect |
| キーワード(3)（和/英） | 光デバイス / Optical devices |
| キーワード(4)（和/英） | 構造モデリング / Structure modeling |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 倉橋 朋也 / Tomoya Kurahashi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 大阪大学(略称：阪大) Osaka University(略称：Osaka Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 牧野 将之 / Masayuki Makino |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 大阪大学(略称：阪大) Osaka University(略称：Osaka Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 上川 涼平 / Ryohei Kamikawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 大阪大学(略称：阪大) Osaka University(略称：Osaka Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 小西 毅 / Tsuyoshi Konishi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 大阪大学(略称：阪大) Osaka University(略称：Osaka Univ.) |
| 発表年月日 | 2022-03-01 |
| 資料番号 | PN2021-64 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | PN-386 |
| ページ範囲 | pp.60-64(PN), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2022-02-22 (PN) |