| 講演名 | 2022-01-31 ［招待講演］高速荷電中心解析によるチャージトラップのダイナミクス把握に基づくHfO2-FeFETサイクル劣化メカニズム解明 市原 玲華(キオクシア), |
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| 抄録(和) | HfO2-FeFETで生じる様々な種類のチャージトラップのサイクル過程における挙動を、高速電流計測に基づく荷電中心解析によって捉え、HfO2-FeFETにおけるサイクル劣化の機構を解析した。HfO2/SiO2界面に生じるトラップ電子がサイクルを経ることで固定化し、erase動作における付加的で可逆なホールトラップを誘起することでVthウインドウが縮小することを明らかにした。 |
| 抄録(英) | e establish an accurate picture of cycling degradation in HfO2-FeFET based on the dynamics of various charge-trapping revealed by fast charge centroid analysis. Cycling-induced fixed electron at HfO2/SiO2 interface induces an additional reversible hole-trapping leading to Vth window narrowing. |
| キーワード(和) | 強誘電 / HfO2 / FeFET / チャージトラップ / 自発分極 / サイクル劣化 / Vthウインドウ |
| キーワード(英) | ferroelectric / HfO2 / FeFET / charge-trapping / spontaneous polarization / cycling degradation / Vth window |
| 資料番号 | SDM2021-70 |
| 発行日 | 2022-01-24 (SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2022/1/31(から1日開催) |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 先端ＣＭＯＳデバイス・ プロセス技術（ＩＥＤＭ特集） |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 平野 博茂(タワー パートナーズ セミコンダクター) |
| 委員長氏名（英） | Hiroshige Hirano(TowerPartners Semiconductor) |
| 副委員長氏名（和） | 大見 俊一郎(東工大) |
| 副委員長氏名（英） | Shunichiro Ohmi(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 森 貴洋(産総研) / 小林 伸彰(日大) |
| 幹事氏名（英） | Takahiro Mori(AIST) / Nobuaki Kobayashi(Nihon Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 野田 泰史(パナソニック) / 諏訪 智之(東北大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Taiji Noda(Panasonic) / Tomoyuki Suwa(Tohoku Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］高速荷電中心解析によるチャージトラップのダイナミクス把握に基づくHfO2-FeFETサイクル劣化メカニズム解明 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] **** |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 強誘電 / ferroelectric |
| キーワード(2)（和/英） | HfO2 / HfO2 |
| キーワード(3)（和/英） | FeFET / FeFET |
| キーワード(4)（和/英） | チャージトラップ / charge-trapping |
| キーワード(5)（和/英） | 自発分極 / spontaneous polarization |
| キーワード(6)（和/英） | サイクル劣化 / cycling degradation |
| キーワード(7)（和/英） | Vthウインドウ / Vth window |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 市原 玲華 / Reika Ichihara |
| 第 1 著者 所属（和/英） | キオクシア(略称：キオクシア) Kioxia(略称：Kioxia) |
| 発表年月日 | 2022-01-31 |
| 資料番号 | SDM2021-70 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | SDM-365 |
| ページ範囲 | pp.9-11(SDM), |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2022-01-24 (SDM) |