| 講演名 | 2022-01-21 ［招待講演］10 kA/cm2 Nb 平坦化プロセスを用いた断熱量子磁束パラメトロン回路の歩留まり評価 山栄 大樹(横浜国大/学振), 竹内 尚輝(横浜国大), 吉川 信行(横浜国大), |
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| 抄録(和) | 断熱量子磁束パラメトロン（AQFP）は断熱スイッチによって低スイッチングエネルギーで動作可能な超伝導回路である．本研究では，平坦化プロセスであるAIST 10 kA/cm2 Nb planarized high-speed standard process（PHSTP）を用いたAQFP回路の歩留まり評価を行った．測定した歩留まり評価回路は，1ブロックあたり約1800接合のAQFPゲートを1チップに10ブロック配置したものである．低速測定において，合計10チップ測定した結果，約1800接合のAQFPゲートの歩留まり率は77%であった． |
| 抄録(英) | Adiabatic quantum-flux-parametron (AQFP) logic is a superconducting logic family that can operate with low switching energy due to the adiabatic switching. In the present study, we conduct yield evaluation of AQFP circuits using AIST 10 kA/cm2 Nb planarized high-speed standard process (PHSTP). AQFP circuits for yield evaluation are composed of ten blocks, which are approximately 1800-junction AQFP gates per block. The yield of 1800-junction AQFP gates is 77% obtained by 10 chips at low-speed test. |
| キーワード(和) | 超伝導集積回路 / 断熱量子磁束パラメトロン（AQFP） / 平坦化プロセス / 歩留まり評価 |
| キーワード(英) | superconducting integrated circuit / adiabatic quantum-flux-parametron (AQFP) / planarization process / yield evaluation |
| 資料番号 | SCE2021-12 |
| 発行日 | 2022-01-14 (SCE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2022/1/21(から1日開催) |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 超伝導エレクトロニクス一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 水柿 義直(電通大) |
| 委員長氏名（英） | Yoshio Mizugaki(Univ. of Electro-Comm.) |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | 藤井 剛(産総研) / 小野美 武(福岡工大) |
| 幹事氏名（英） | Go Fujii(AIST) / Takeshi Onomi(Fukuoka Inst. of Tech) |
| 幹事補佐氏名（和） | 赤池 宏之(大同大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Hiroyuki Akaike(Daido Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Superconductive Electronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］10 kA/cm2 Nb 平坦化プロセスを用いた断熱量子磁束パラメトロン回路の歩留まり評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Yield evaluation of adiabatic quantum-flux-parametron circuits using a planarized 10 kA/cm2 niobium process |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導集積回路 / superconducting integrated circuit |
| キーワード(2)（和/英） | 断熱量子磁束パラメトロン（AQFP） / adiabatic quantum-flux-parametron (AQFP) |
| キーワード(3)（和/英） | 平坦化プロセス / planarization process |
| キーワード(4)（和/英） | 歩留まり評価 / yield evaluation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 山栄 大樹 / Taiki Yamae |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学/日本学術振興会特別研究員(略称：横浜国大/学振) Yokohama National University/JSPS Research Fellow(略称：Yokohama Natl. Univ./JSPS Research Fellow) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 竹内 尚輝 / Naoki Takeuchi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学(略称：横浜国大) Yokohama National University(略称：Yokohama Natl. Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 吉川 信行 / Nobuyuki Yoshikawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 横浜国立大学(略称：横浜国大) Yokohama National University(略称：Yokohama Natl. Univ.) |
| 発表年月日 | 2022-01-21 |
| 資料番号 | SCE2021-12 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | SCE-340 |
| ページ範囲 | pp.1-5(SCE), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2022-01-14 (SCE) |