| 講演名 | 2021-12-20 動作しているGaN-HEMTの表面電子捕獲の時空間ダイナミクスの観測 吹留 博一(東北大), |
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| 抄録(和) | GaN-HEMTの電流コラプス現象の大きな要因である表面電子捕獲は、重要な研究課題である。高い時空間分解能を有する。我々は、X線分光を用いて、動作しているGaN-HEMT表面における電子捕獲過程に伴う表面化学結合の時空間的変化を、元素選択的に直接観測することに成功した。この観測結果は、従来の巨視的な電気計測法や走査型プローブ顕微鏡では決して観測できないものである。その結果、表面電子捕獲の時空間ダイナミクス下が、DC電圧下と高周波電圧下において大きく異なることを明らかにすることができた。本観測結果に基づき、GaN-HEMTの表面電子捕獲機構を提案した。 |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | GaN-HEMT / オペランド分光 / X線分光 / 高時空間分解 |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | ED2021-58 |
| 発行日 | 2021-12-13 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2021/12/20(から2日開催) |
| 開催地（和） | 東北大学・電気通信研究所 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | ミリ波・テラヘルツ波デバイス・システム |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 藤代 博記(東京理科大) |
| 委員長氏名（英） | Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) |
| 副委員長氏名（和） | 葛西 誠也(北大) |
| 副委員長氏名（英） | Seiya Sakai(Hokkaido Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 小谷 淳二(富士通研) / 堤 卓也(NTT) |
| 幹事氏名（英） | Junji Kotani(Fjitsu Lab.) / Takuya Tsutsumi(NTT) |
| 幹事補佐氏名（和） | 磯野 僚多(サイオクス) / 山本 佳嗣(三菱電機) |
| 幹事補佐氏名（英） | Ryota Isonoi(SCIOCS) / Yoshitugu Yamamoto(Mitsubishi Electric) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 動作しているGaN-HEMTの表面電子捕獲の時空間ダイナミクスの観測 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Observation of surface electron trapping of GaN-HEMT during operation |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | GaN-HEMT |
| キーワード(2)（和/英） | オペランド分光 |
| キーワード(3)（和/英） | X線分光 |
| キーワード(4)（和/英） | 高時空間分解 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 吹留 博一 / Hirokazu Fukidome |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 発表年月日 | 2021-12-20 |
| 資料番号 | ED2021-58 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | ED-309 |
| ページ範囲 | pp.48-52(ED), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2021-12-13 (ED) |