講演名 | 2021-11-26 ALDにより成膜したSiO2/Al2O3 2層絶縁膜を用いたノーマリーオフ型AlGaN/GaN MIS-HEMTの電気特性評価 戸田 圭太郎(名工大), 久保 俊晴(名工大), 江川 孝志(名工大), |
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資料番号 | ED2021-31,CPM2021-65,LQE2021-43 |
発行日 | 2021-11-18 (ED, CPM, LQE) |
研究会情報 | |
研究会 | ED / CPM / LQE |
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開催期間 | 2021/11/25(から2日開催) |
開催地(和) | オンライン開催 |
開催地(英) | Online |
テーマ(和) | 窒化物半導体光、電子デバイス、材料、関連技術、及び一般 |
テーマ(英) | |
委員長氏名(和) | 藤代 博記(東京理科大) / 中村 雄一(豊橋技科大) / 梅沢 俊匡(NICT) |
委員長氏名(英) | Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Toshitada Umezawa(NICT) |
副委員長氏名(和) | 葛西 誠也(北大) / 中澤 日出樹(弘前大) / 高原 淳一(阪大) |
副委員長氏名(英) | Seiya Sakai(Hokkaido Univ.) / Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) / Junichi Takahara(Osaka Univ.) |
幹事氏名(和) | 小谷 淳二(富士通研) / 堤 卓也(NTT) / 寺迫 智昭(愛媛大) / 武山 真弓(北見工大) / 瀬川 徹(NTT) / 藤田 和上(浜松ホトニクス) |
幹事氏名(英) | Junji Kotani(Fjitsu Lab.) / Takuya Tsutsumi(NTT) / Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech) / Toru Segawa(NTT) / Kazuue Fujita(Hamamatsu Photonics) |
幹事補佐氏名(和) | 磯野 僚多(サイオクス) / 山本 佳嗣(三菱電機) / 木村 康男(東京工科大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 番場 教子(信州大) / 田中 信介(富士通) / 西山 伸彦(東工大) |
幹事補佐氏名(英) | Ryota Isonoi(SCIOCS) / Yoshitugu Yamamoto(Mitsubishi Electric) / Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Noriko Bamba(Shinshu Univ.) / Shinsuke Tanaka(Fujitsu) / Nobuhiko Nishiyama(Tokyo Inst. of Tech.) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Technical Committee on Electron Devices / Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | ALDにより成膜したSiO2/Al2O3 2層絶縁膜を用いたノーマリーオフ型AlGaN/GaN MIS-HEMTの電気特性評価 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Estimation of electrical characteristics of normally-off type AlGaN/GaN MIS-HEMTs with SiO2/Al2O3 double insulators fabricated by ALD |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | |
第 1 著者 氏名(和/英) | 戸田 圭太郎 / Keitaro Toda |
第 1 著者 所属(和/英) | 名古屋工業大学(略称:名工大) Nagoya Institute of Technology(略称:NITech) |
第 2 著者 氏名(和/英) | 久保 俊晴 / Toshiharu Kubo |
第 2 著者 所属(和/英) | 名古屋工業大学(略称:名工大) Nagoya Institute of Technology(略称:NITech) |
第 3 著者 氏名(和/英) | 江川 孝志 / Takashi Egawa |
第 3 著者 所属(和/英) | 名古屋工業大学(略称:名工大) Nagoya Institute of Technology(略称:NITech) |
発表年月日 | 2021-11-26 |
資料番号 | ED2021-31,CPM2021-65,LQE2021-43 |
巻番号(vol) | vol.121 |
号番号(no) | ED-259,CPM-260,LQE-261 |
ページ範囲 | pp.75-78(ED), pp.75-78(CPM), pp.75-78(LQE), |
ページ数 | 4 |
発行日 | 2021-11-18 (ED, CPM, LQE) |