| 講演名 | 2021-11-15 メンブレンを用いたSTJ検出器のノイズ低減に関する研究 柴﨑 太我(埼玉大/産総研), 藤井 剛(産総研), 浮辺 雅宏(産総研), 田井野 徹(埼玉大), |
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| 抄録(和) | 超伝導トンネル接合(STJ)検出器は、理論上半導体検出器の数十倍の高いエネルギー分解能を実現でき、SiCやGaN等の次世代省エネルギー半導体中の微量軽元素等の蛍光X線分析への利用が期待されている。しかし現行のSTJはSi基板上に直接集積されているため、高エネルギーX線がSi基板で吸収されることによって発生する信号が微量軽元素の特性X線ピークと重なることにより、微量軽元素分析が困難となっている。そこで我々は、STJ直下でのX線吸収を防止するため、STJ直下のSi基板を除去し、自立メンブレン上にSTJを集積する構造を提案した。本研究では、メンブレン形成方法を確立、及び同メンブレン上へのSTJの作製を行った。 |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | 超伝導X線検出器 / STJ検出器 / 軽元素分析 / メンブレン / 膜応力 / 裏面露光 |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | SCE2021-9 |
| 発行日 | 2021-11-08 (SCE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SCE |
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| 開催期間 | 2021/11/15(から1日開催) |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 超伝導エレクトロニクス一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 水柿 義直(電通大) |
| 委員長氏名（英） | Yoshio Mizugaki(Univ. of Electro-Comm.) |
| 副委員長氏名（和） | |
| 副委員長氏名（英） | |
| 幹事氏名（和） | 藤井 剛(産総研) / 小野美 武(福岡工大) |
| 幹事氏名（英） | Go Fujii(AIST) / Takeshi Onomi(Fukuoka Inst. of Tech) |
| 幹事補佐氏名（和） | 赤池 宏之(大同大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Hiroyuki Akaike(Daido Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Superconductive Electronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | メンブレンを用いたSTJ検出器のノイズ低減に関する研究 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Noise reduction in superconducting tunnel junction detector by using membrane |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 超伝導X線検出器 |
| キーワード(2)（和/英） | STJ検出器 |
| キーワード(3)（和/英） | 軽元素分析 |
| キーワード(4)（和/英） | メンブレン |
| キーワード(5)（和/英） | 膜応力 |
| キーワード(6)（和/英） | 裏面露光 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 柴﨑 太我 / Taiga Shibasaki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 埼玉大学/産業技術総合研究所(略称：埼玉大/産総研) Saitama University/National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(略称：Saitama Univ./AIST) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 藤井 剛 / Go Fujii |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所(略称：産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(略称：AIST) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 浮辺 雅宏 / Masahiro Ukibe |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所(略称：産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology(略称：AIST) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 田井野 徹 / Tohru Taino |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 埼玉大学(略称：埼玉大) Saitama University(略称：Saitama Univ.) |
| 発表年月日 | 2021-11-15 |
| 資料番号 | SCE2021-9 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | SCE-248 |
| ページ範囲 | pp.10-14(SCE), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2021-11-08 (SCE) |