講演名 2021-10-22
Conditional GANによる結晶方位情報を埋め込んだ光学イメージから蛍光イメージへの変換
工藤 博章(名大), 小島 拓人(名大), 沓掛 健太朗(理研), 松本 哲也(名大), 宇佐美 徳隆(名大),
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抄録(和) 多結晶シリコンウェハに対して,入射光の方位を変えると粒の結晶方位に応じた反射光の変化を見ることができる.これらの結晶方位情報をもつ光学イメージから3枚を選択し,擬似的にカラー画像化した光学イメージから転位領域を可視化できる蛍光イメージへの変換をconditional GANによって行った.粒の抽出のため,照明光の方位が大きい光学イメージの組みと,転位領域の再現のため,隣接した配置での組みを選択することが有用である可能性を示唆する結果を得た.
抄録(英) We can observe changes of reflected lights depend on a crystallographic orientation of each grain in a multicrystalline silicon wafer, when we change a direction of an illuminant light. We chose three from these optic images with embedded crystallographic orientation information, and composited a pseudo color image. Image translation from the image to photoluminescence image which can visualize dislocation clusters was performed with conditional GAN. We obtained results that it suggest that to use a set of images whose angle between directions of an illuminant light is large is useful to extract shapes of grains and that to use a set of ones whose adjacent images to represent dislocation regions.
キーワード(和) conditional GAN / 光学イメージ / 蛍光イメージ / 結晶方位 / 転位
キーワード(英) conditional GAN / optical image / photoluminescence image / crystallographic orientation / dislocation
資料番号 IMQ2021-8
発行日 2021-10-15 (IMQ)

研究会情報
研究会 IMQ
開催期間 2021/10/22(から1日開催)
開催地(和) 阪大吹田キャンパス
開催地(英) Osaka Univ.
テーマ(和) 視覚とIMQ一般
テーマ(英)
委員長氏名(和) 魚森 謙也(阪大)
委員長氏名(英) Kenya Uomori(Osaka Univ.)
副委員長氏名(和) 前田 充(キヤノン)
副委員長氏名(英) Mitsuru Maeda(Canon)
幹事氏名(和) 工藤 博章(名大) / 土田 勝(NTT)
幹事氏名(英) Hiroaki Kudo(Nagoya Univ.) / Masaru Tsuchida(NTT)
幹事補佐氏名(和) 塚田 正人(NEC) / 山添 崇(成蹊大)
幹事補佐氏名(英) Masato Tsukada(NEC) / Takashi Yamazoe(Seikei Univ.)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Technical Committee on Image Media Quality
本文の言語 JPN
タイトル(和) Conditional GANによる結晶方位情報を埋め込んだ光学イメージから蛍光イメージへの変換
サブタイトル(和) 光学イメージ群の選択に関する検討
タイトル(英) Image translation from optical image with embedded crystallographic orientation information to photoluminescence image by conditional GAN
サブタイトル(和) a study of selection of optical images
キーワード(1)(和/英) conditional GAN / conditional GAN
キーワード(2)(和/英) 光学イメージ / optical image
キーワード(3)(和/英) 蛍光イメージ / photoluminescence image
キーワード(4)(和/英) 結晶方位 / crystallographic orientation
キーワード(5)(和/英) 転位 / dislocation
第 1 著者 氏名(和/英) 工藤 博章 / Hiroaki Kudo
第 1 著者 所属(和/英) 名古屋大学(略称:名大)
Nagoya University(略称:Nagoya Univ.)
第 2 著者 氏名(和/英) 小島 拓人 / Takuto Kojima
第 2 著者 所属(和/英) 名古屋大学(略称:名大)
Nagoya University(略称:Nagoya Univ.)
第 3 著者 氏名(和/英) 沓掛 健太朗 / Kentaro Kutsukake
第 3 著者 所属(和/英) 理化学研究所(略称:理研)
RIKEN(略称:RIKEN)
第 4 著者 氏名(和/英) 松本 哲也 / Tetsuya Matsumoto
第 4 著者 所属(和/英) 名古屋大学(略称:名大)
Nagoya University(略称:Nagoya Univ.)
第 5 著者 氏名(和/英) 宇佐美 徳隆 / Noritaka Usami
第 5 著者 所属(和/英) 名古屋大学(略称:名大)
Nagoya University(略称:Nagoya Univ.)
発表年月日 2021-10-22
資料番号 IMQ2021-8
巻番号(vol) vol.121
号番号(no) IMQ-217
ページ範囲 pp.8-11(IMQ),
ページ数 4
発行日 2021-10-15 (IMQ)