講演名 2021-10-08
Fe-Co合金の単結晶薄膜および多結晶厚膜の構造と磁歪特性
中村 優太(横浜国大), 明田 俊祐(横浜国大), 近藤 輝(横浜国大), 大竹 充(横浜国大), 川井 哲郎(横浜国大), 二本 正昭(横浜国大), 桐野 文良(東京藝術大), 稲葉 信幸(山形大),
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抄録(和) 大きな磁歪を示すFe-Co合金は磁歪式振動発電デバイスへの応用に向けて注目されている.本研究では,磁歪の基本特性を調べるために,マグネトロン・スパッタリング法により600 °Cの高基板温度でVN(001)単結晶下地層上に100 nm厚の(Fe0.7Co0.3)100?xBx(at. %, x = 0?15)合金単結晶膜を形成した.B組成が0から5 at. %に増加すると,磁歪定数(λ100, λ111)が(+200×10?6, ?10×10?6)から(+310×10?6, +20×10?6)まで増加した.少量のB添加は,結晶性を維持した状態でB2相への規則化を促進させ,磁歪を増大させた.実デバイスではマイクロ・メートル・オーダーの膜厚が要求される.そのため,Fe100?yCoy(y = 0?95)合金の厚膜を形成するために,電解めっき法を用いた.Fe70Co30およびFe30Co70多結晶厚膜の磁歪定数λは,それぞれ,+120×10?6および+130×10?6であった.電解めっき法により大きな磁歪を持つFe-Co厚膜の形成が可能であることが示された.
抄録(英) Fe-Co alloys with large magnetostriction have attracted much attention to magnetostrictive vibration power generation device. In the present study, (Fe0.7Co0.3)100?xBx (at. %, x = 0?15) alloy single-crystalline films of 100 nm thickness are prepared on VN(001) single-crystal substrates at a high substrate temperature of 600 °C by UHV magnetron sputtering to investigate the intrinsic magnetostriction property. As the B content increases from 0 to 5 at. %, the magnetostrictive coefficients of (λ100, λ111) increase from (+200×10?6, ?10×10?6) to (+310×10?6, +20×10?6). Slight addition of B atom promotes B2 ordering while keeping the crystallographic quality and enhances the magnetostriction. Thickness in micrometer scale is required for practical application. Electroplating is employed to prepare thick Fe100?yCoy (y = 0?95) alloy films. The λ values of Fe70Co30 and Fe30Co70 poly-crystalline thick films are respectively +120×10?6 and +130×10?6. Fe-Co thick films with large magnetostriction are successfully prepared by electroplating.
キーワード(和) Fe-Co合金 / 単結晶薄膜 / 多結晶厚膜 / 磁歪
キーワード(英) Fe-Co Alloy / Single-Crystalline Thin Film / Poly-Crystalline Thin Film / Magnetostriction
資料番号 MRIS2021-6
発行日 2021-10-01 (MRIS)

研究会情報
研究会 MRIS / ITE-MMS
開催期間 2021/10/8(から1日開催)
開催地(和) オンライン開催
開催地(英) Online
テーマ(和) ヘッド,スピントロニクス,固体メモリ, 媒体, 一般
テーマ(英) Recording Head, Spintronics, Solid State Memory, Media, etc.
委員長氏名(和) 吉田 周平(近畿大) / 町田 賢司(NHK)
委員長氏名(英) Shuhei Yoshida(Kinki Univ.) / Kenji Machida(NHK)
副委員長氏名(和)
副委員長氏名(英)
幹事氏名(和) 田河 育也(東北工大) / 荒井 礼子(産総研) / 吉村 哲(秋田大) / 武者 敦史(富士フイルム) / 文仙 正俊(福岡大) / 船橋 信彦(NHK)
幹事氏名(英) Ikuya Tagawa(Tohoku Inst. of Tech.) / Hiroko Arai(AIST) / Satoru Yoshimura(Akita Univ.) / Atsushi Musha(Fujifilm Corp.) / Masatoshi Bunsen(Fukuoka Univ.) / Nobuhiko Funabashi(NHK)
幹事補佐氏名(和) 仲村 泰明(愛媛大) / 平山 義幸(サムスン日本研究所)
幹事補佐氏名(英) Yasuaki Nakamura(Ehime Univ.) / Yoshiyuki Hirayama(Samsung)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Technical Committee on Magnetic Recording & Information Storage / Technical Group on Multi-media Storage
本文の言語 JPN
タイトル(和) Fe-Co合金の単結晶薄膜および多結晶厚膜の構造と磁歪特性
サブタイトル(和)
タイトル(英) Structure and Magnetostrictive Properties of Fe-Co Alloy Single-Crystal Thin Films and Poly-Crystal Thick Films
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) Fe-Co合金 / Fe-Co Alloy
キーワード(2)(和/英) 単結晶薄膜 / Single-Crystalline Thin Film
キーワード(3)(和/英) 多結晶厚膜 / Poly-Crystalline Thin Film
キーワード(4)(和/英) 磁歪 / Magnetostriction
第 1 著者 氏名(和/英) 中村 優太 / Yuta Nakamura
第 1 著者 所属(和/英) 横浜国立大学(略称:横浜国大)
Yokohama National University(略称:Yokohama Nat. Univ.)
第 2 著者 氏名(和/英) 明田 俊祐 / Shunsuke Aketa
第 2 著者 所属(和/英) 横浜国立大学(略称:横浜国大)
Yokohama National University(略称:Yokohama Nat. Univ.)
第 3 著者 氏名(和/英) 近藤 輝 / Hikaru Kondo
第 3 著者 所属(和/英) 横浜国立大学(略称:横浜国大)
Yokohama National University(略称:Yokohama Nat. Univ.)
第 4 著者 氏名(和/英) 大竹 充 / Mitsuru Ohtake
第 4 著者 所属(和/英) 横浜国立大学(略称:横浜国大)
Yokohama National University(略称:Yokohama Nat. Univ.)
第 5 著者 氏名(和/英) 川井 哲郎 / Tetsuroh Kawai
第 5 著者 所属(和/英) 横浜国立大学(略称:横浜国大)
Yokohama National University(略称:Yokohama Nat. Univ.)
第 6 著者 氏名(和/英) 二本 正昭 / Masaaki Futamoto
第 6 著者 所属(和/英) 横浜国立大学(略称:横浜国大)
Yokohama National University(略称:Yokohama Nat. Univ.)
第 7 著者 氏名(和/英) 桐野 文良 / Fumiyoshi Kirino
第 7 著者 所属(和/英) 東京藝術大学(略称:東京藝術大)
Tokyo University of the Arts(略称:Tokyo Univ. Arts)
第 8 著者 氏名(和/英) 稲葉 信幸 / Nobuyuki Inaba
第 8 著者 所属(和/英) 山形大学(略称:山形大)
Yamagata University(略称:Yamagata Univ.)
発表年月日 2021-10-08
資料番号 MRIS2021-6
巻番号(vol) vol.121
号番号(no) MRIS-193
ページ範囲 pp.1-5(MRIS),
ページ数 5
発行日 2021-10-01 (MRIS)