講演名 2021-08-06
環境モニタリング向け集積化マルチモーダルセンサの作製と評価
岩田 達哉(富山県立大), 大野 賢(豊橋技科大), 高橋 一浩(豊橋技科大), 澤田 和明(豊橋技科大),
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抄録(和)
抄録(英)
キーワード(和)
キーワード(英)
資料番号 ED2021-12
発行日 2021-07-30 (ED)

研究会情報
研究会 ED / IEE-BMS / IEE-MSS
開催期間 2021/8/6(から1日開催)
開催地(和) オンライン開催
開催地(英) Online
テーマ(和) センサ、MEMS、一般
テーマ(英)
委員長氏名(和) 藤代 博記(東京理科大)
委員長氏名(英) Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science)
副委員長氏名(和) 葛西 誠也(北大)
副委員長氏名(英) Seiya Sakai(Hokkaido Univ.)
幹事氏名(和) 小谷 淳二(富士通研) / 堤 卓也(NTT)
幹事氏名(英) Junji Kotani(Fjitsu Lab.) / Takuya Tsutsumi(NTT)
幹事補佐氏名(和) 磯野 僚多(サイオクス) / 山本 佳嗣(三菱電機)
幹事補佐氏名(英) Ryota Isonoi(SCIOCS) / Yoshitugu Yamamoto(Mitsubishi Electric)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Technical Committee on Electron Devices / Technical Committee on Bio Micro Systems / Technical Committee on Micromachine and Sensor System
本文の言語 JPN
タイトル(和) 環境モニタリング向け集積化マルチモーダルセンサの作製と評価
サブタイトル(和)
タイトル(英) Fabrication and characterization of integrated multimodal sensor for environmental monitoring
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英)
第 1 著者 氏名(和/英) 岩田 達哉 / Tatsuya Iwata
第 1 著者 所属(和/英) 富山県立大学(略称:富山県立大)
Toyama Prefectural University(略称:TPU)
第 2 著者 氏名(和/英) 大野 賢 / Ken Ono
第 2 著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学(略称:豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology(略称:TUT)
第 3 著者 氏名(和/英) 高橋 一浩 / Kazuhiro Takahashi
第 3 著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学(略称:豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology(略称:TUT)
第 4 著者 氏名(和/英) 澤田 和明 / Kazuaki Sawada
第 4 著者 所属(和/英) 豊橋技術科学大学(略称:豊橋技科大)
Toyohashi University of Technology(略称:TUT)
発表年月日 2021-08-06
資料番号 ED2021-12
巻番号(vol) vol.121
号番号(no) ED-136
ページ範囲 pp.5-8(ED),
ページ数 4
発行日 2021-07-30 (ED)