| 講演名 | 2021-07-06 代表クリップ生成を考慮したレイアウトパターン分類の一手法 桝谷 智哉(東京農工大), 石野 修平(東京農工大), 藤吉 邦洋(東京農工大), |
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| 抄録(和) | 従来、半導体集積回路のレイアウト設計では、レイアウトの最小線幅や最小間隔などを定めたデザインルールを順守することで高い歩留まりを維持していた。ところが、近年、半導体の微細化が進んだために、露光の際に短絡や断線などの問題が生じる可能性が高い箇所（ホットスポット）の発生を十分に防げず、デザインルールの遵守では十分に高い歩留まりを維持できなくなっている。よって、歩留まり向上のためにホットスポットの検出と修正が不可欠である。ホットスポットの検出はリソグラフィシミュレーションを行うことで可能だが、多大な計算時間を要するため、近年では代替手法としてパターンマッチングによる検出手法が実用化されている。その検出手法で用いるライブラリは、ホットスポットを中心にして、指定サイズの正方形の枠で切り出した領域である「クリップ」について、``似た''クリップ同士でグループ分けして作成する。本稿では、同一グループのクリップが辺の移動幅という物理量の観点で、与えられた範囲内に収まるクリップ同士を``似た''と判断してグループ分けを行う。グループ数が小さいほどよい分類結果であると好まれている。従来手法では、入力として与えられたクリップのみを用いてクリップを分類する場合にグループ数が最小の解を求めることができる。 しかし、入力として与えられたクリップのうち多くのものと類似したクリップを生成することができれば、よりグループ数を削減できる可能性があることに着目した。その代表クリップ生成を考慮した分類手法を本稿で述べる。しかしまず、前提として、本稿の分類手法では、辺の移動幅条件を分類の基準に使用するが、より一般化できる潜在性があるので辺の移動幅条件を一般化する。そして次に、Changらが示した「２つのクリップが辺の移動幅条件を満たすか否かの判定法」を利用するが、用語の厳密な定義、証明がなされていないため、それらを行う。それを踏まえて、「代表クリップが生成できる条件」を示し、代表クリップ生成を考慮した分類を計算機実装して実験を行い、有効性を確認する。 |
| 抄録(英) | In recent years, we group layout clips of hotspots of similar pattern to create library, which is used to detect hotspots from new layout. The grouping of layout clips is called Layout Pattern Classification. In this paper, we propose a method of layout pattern classification considering creating representative clip due to decreasing number of groups. Experimental results indicate the effectiveness of the proposed method. |
| キーワード(和) | レイアウトパターン分類 / クラスタリング |
| キーワード(英) | Layout Pattern Classification / Clustering |
| 資料番号 | CAS2021-10,VLD2021-10,SIP2021-20,MSS2021-10 |
| 発行日 | 2021-06-28 (CAS, VLD, SIP, MSS) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SIP / CAS / VLD / MSS |
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| 開催期間 | 2021/7/5(から2日開催) |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | システムと信号処理および一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 坂東 幸浩(NTT) / 佐藤 弘樹(ソニーLSIデザイン) / 小林 和淑(京都工繊大) / 尾崎 敦夫(阪工大) |
| 委員長氏名（英） | Yukihiro Bandou(NTT) / Hiroki Sato(Sony LSI Design) / Kazutoshi Kobayashi(Kyoto Inst. of Tech.) / Atsuo Ozaki(Osaka Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 田中 聡久(東京農工大) / 仲地 孝之(琉球大学) / 前田 義信(新潟大) / 池田 奈美子(NTT) / 山口 真悟(山口大) |
| 副委員長氏名（英） | Toshihisa Tanaka(Tokyo Univ. Agri.&Tech.) / Takayuki Nakachi(Ryukyu Univ.) / Yoshinobu Maeda(Niigata Univ.) / Minako Ikeda(NTT) / Shingo Yamaguchi(Yamaguchi Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 杉本 憲治郎(Xiaomi) / 渡辺 修(拓殖大) / 田中 雄一(東京農工大) / 下田 真二(ソニーLSIデザイン) / 伊藤 尚(富山高専) / 兼本 大輔(大阪大学) / 宮村 信(NEC) / 小林 孝一(北大) / 劉 健全(NEC) |
| 幹事氏名（英） | Kenjiro Sugimoto(Xiaomi) / Osamu Watanabe(Takushoku Univ.) / Yuichi Tanaka(Tokyo Univ. Agri.&Tech.) / Shinji Shimoda(Sony LSI Design) / Nao Ito(NIT, Toyama college) / Daisuke Kanemoto(Osaka Univ.) / Makoto Miyamura(NEC) / Koichi Kobayashi(Hokkaido Univ.) / Jianquan Liui(NEC) |
| 幹事補佐氏名（和） | 吉田 太一(電通大) / 京地 清介(北九州市立大) / 山口 基(テクノプロ) / 中村 洋平(日立) / 佐藤 隆英(山梨大) / 相原 康敏(村田製作所) / / 白井 匡人(島根大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Taichi Yoshida(UEC) / Seisuke Kyochi(Univ. of Kitakyushu) / Motoi Yamaguchi(TECHNOPRO) / Yohei Nakamura(Hitachi) / Takahide Sato(Univ. of Yamanashi) / Yasutoshi Aibara(Murata Manufacturing) / / Masato Shirai(Shimane Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Signal Processing / Technical Committee on Circuits and Systems / Technical Committee on VLSI Design Technologies / Technical Committee on Mathematical Systems Science and its Applications |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 代表クリップ生成を考慮したレイアウトパターン分類の一手法 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Method of Layout Pattern Classification with Creating Representative Clip |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | レイアウトパターン分類 / Layout Pattern Classification |
| キーワード(2)（和/英） | クラスタリング / Clustering |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 桝谷 智哉 / Tomoya Masutani |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京農工大学(略称：東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology(略称：TUAT) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 石野 修平 / Shuhei Ishino |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京農工大学(略称：東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology(略称：TUAT) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 藤吉 邦洋 / Kunihiro Fujiyoshi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京農工大学(略称：東京農工大) Tokyo University of Agriculture and Technology(略称：TUAT) |
| 発表年月日 | 2021-07-06 |
| 資料番号 | CAS2021-10,VLD2021-10,SIP2021-20,MSS2021-10 |
| 巻番号（vol） | vol.121 |
| 号番号（no） | CAS-89,VLD-90,SIP-91,MSS-92 |
| ページ範囲 | pp.48-53(CAS), pp.48-53(VLD), pp.48-53(SIP), pp.48-53(MSS), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2021-06-28 (CAS, VLD, SIP, MSS) |