| 講演名 | 2021-03-03 0.18μm多端子MOSFET型センサの磁界検出動作の評価 鈴木 慎弥(山形大), 及川 康太(山形大), 原田 知親(山形大), |
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| 抄録(和) | 本研究では、センサの低コスト化や微細化が期待されているMOSFET型センサである多端子MOSFETを用いて磁界検出動作と磁界感度についての評価を行った。その際、使用した多端子MOSFETは0.18μmCMOSプロセスにより試作された11端子MOSFETである。その結果、先行研究で行われた8角形多端子MOSFETの磁界検出評価のように本研究で使用した素子においても出力端子対毎に異なる磁界感度を示す傾向が見られた。また、本研究で使用した多端子MOSFETは先行研究で使用された8角形多端子MOSFETより簡易的構造であり多数の出力端子を持つので、出力端子対毎に磁界感度が異なる要因について考察することができた。 |
| 抄録(英) | In this paper, we evaluate the magnetic field detection and sensitivity using a multi-output MOSFET, which is a MOSFET type sensor that is expected to reduce the cost and miniaturization of the sensor. At that time, the multi-output MOSFET has 11-outputs MOSFET implemented by the 0.18 μm CMOS process. As a result, the different magnetic field sensitivities for each output terminal pair are shown in this study, like the octagonal multi-output MOSFET in the previous study. In addition, since the multi-output MOSFET has a simpler structure and a large number of output terminals than the octagonal multi-output MOSFET, the factors of the magnetic field sensitivity to differ for each output terminal pair can be considered. |
| キーワード(和) | 多端子MOSFET / 磁界センサ / 磁界検出 / 磁界感度 |
| キーワード(英) | Multi-Output MOSFET / Magnetic field sensor / Magnetic field detection / Magnetic field sensitivity |
| 資料番号 | CPM2020-77 |
| 発行日 | 2021-02-24 (CPM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
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| 開催期間 | 2021/3/3(から1日開催) |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 若手ミーティング 電子部品材料、一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 武山 真弓(北見工大) |
| 委員長氏名（英） | Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 中村 雄一(豊橋技科大) |
| 副委員長氏名（英） | Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 中澤 日出樹(弘前大) |
| 幹事氏名（英） | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 木村 康男(東京工科大) / 寺迫 智昭(愛媛大) / 廣瀬 文彦(山形大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 0.18μm多端子MOSFET型センサの磁界検出動作の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | A Evaluation of the Magnetic Field Detection for the 0.18um Multi-Output MOSFET Sensor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 多端子MOSFET / Multi-Output MOSFET |
| キーワード(2)（和/英） | 磁界センサ / Magnetic field sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 磁界検出 / Magnetic field detection |
| キーワード(4)（和/英） | 磁界感度 / Magnetic field sensitivity |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 鈴木 慎弥 / Shinya Suzuki |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 及川 康太 / Kota Oikawa |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 原田 知親 / Tomochika Harada |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 山形大学(略称：山形大) Yamagata University(略称：Yamagata Univ.) |
| 発表年月日 | 2021-03-03 |
| 資料番号 | CPM2020-77 |
| 巻番号（vol） | vol.120 |
| 号番号（no） | CPM-408 |
| ページ範囲 | pp.74-77(CPM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2021-02-24 (CPM) |