| 講演名 | 2021-03-03 球状弾性表面波センサを用いる微量水分インバースガスクロマトグラフィの基礎検討 辻 俊宏(東北大), 小原 良和(東北大), 三原 毅(東北大), |
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| 抄録(和) | 高純度ガスを扱うためのステンレス配管システムにおいては極低濃度の水分(微量水分)の吸脱着が問題になり得る。その調査には規定濃度のプローブガスの通過挙動を測定するインバースガスクロマトグラフィ(IGC)が有効と考えられるが、検出器の小型化やユーティリティの確保に課題があり、現場配管に適用可能な計測法はまだ開発されていない。本稿では球状弾性表面波センサによる微量水分測定を用いたIGCについて基礎検討を行った結果を報告する。 |
| 抄録(英) | The adsorption and desorption of the trace moisture less than 1ppmv may cause the problems in stainless-steel tube system for highly pure gas. A concept of inverse gas chromatography (IGC), that measures the behavior of probe gas with known concentration passing through, is useful for the inspection. However, on-site measurement method has not been developed because of difficulties in down-sizing and preparing the equipment such as vacuum pumping and sufficient power source. In this paper, we report preliminary results for realizing IGC using the ball surface acoustic wave trace moisture sensor. |
| キーワード(和) | 微量水分 / インバースガスクロマトグラフィ / 球状弾性表面波センサ / ステンレス配管 |
| キーワード(英) | trace moisture / inverse gas chromatography / ball surface acoustic wave sensor / stainless steel tube |
| 資料番号 | US2020-78 |
| 発行日 | 2021-02-24 (US) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EA / US / SP / SIP / IPSJ-SLP |
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| 開催期間 | 2021/3/3(から2日開催) |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | 音声,応用／電気音響,信号処理，超音波，一般 |
| テーマ（英） | Speech, Engineering/Electro Acoustics, Signal Processing, Ultrasonics, and Related Topics |
| 委員長氏名（和） | 古家 賢一(大分大) / 三浦 光(日大) / 河井 恒(NICT) / 林 和則(京大) / 北岡 教英(豊橋技科大) |
| 委員長氏名（英） | Kenichi Furuya(Oita Univ.) / Hikaru Miura(Nihon Univ.) / Hisashi Kawai(NICT) / Kazunori Hayashi(Kyoto Univ.) / 北岡 教英(豊橋技科大) |
| 副委員長氏名（和） | 梶川 嘉延(関西大) / 松井 健太郎(NHK) / 近藤 淳(静岡大) / 小池 義和(芝浦工大) / / 坂東 幸浩(NTT) / 田中 聡久(東京農工大) |
| 副委員長氏名（英） | Yoshinobu Kajikawa(Kansai Univ.) / Kentaro Matsui(NHK) / Jun Kondo(Shizuoka Univ.) / Yoshikazu Koike(Shibaura Inst. of Tech.) / / Yukihiro Bandou(NTT) / Toshihisa Tanaka(Tokyo Univ. Agri.&Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 小山 翔一(東大) / 加古 達也(NTT) / 小山 大介(同志社大) / 荒川 元孝(東北大) / 高道 慎之介(東大) / 小川 哲司(早大) / 小西 克巳(法政大) / 杉本 憲治郎(早大) / 秋田 祐哉(京大) / 太刀岡 勇気(デンソーアイティーラボラトリ) / 高島 遼一(神戸大) / 高道 慎之介(東大) |
| 幹事氏名（英） | Shoichi Koyama(Univ. of Tokyo) / Tatsuya Kako(NTT) / Daisuke Koyama(Doshisha Univ.) / Mototaka Arakawa(Tohoku Univ.) / Shinnosuke Takamichi(Univ. of Tokyo) / Tetsuji Ogawa(Waseda Univ.) / Katsumi Konishi(Hosei Univ.) / Kenjiro Sugimoto(Waseda Univ.) / 秋田 祐哉(京大) / 太刀岡 勇気(デンソーアイティーラボラトリ) / 高島 遼一(神戸大) / 高道 慎之介(東大) |
| 幹事補佐氏名（和） | 若林 佑幸(都立大) / 小松 達也(LINE) / 平田 慎之介(東工大) / 井島 勇祐(NTT) / 田中 雄一(東京農工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Yukou Wakabayashi(Tokyo Metropolitan Univ.) / Tatsuya Komatsu(LINE) / Shinnosuke Hirata(Tokyo Inst. of Tech.) / Yusuke Ijima(NTT) / Yuichi Tanaka(Tokyo Univ. Agri.&Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Engineering Acoustics / Technical Committee on Ultrasonics / Technical Committee on Speech / Technical Committee on Signal Processing / Special Interest Group on Spoken Language Processing |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 球状弾性表面波センサを用いる微量水分インバースガスクロマトグラフィの基礎検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fundamental study of trace-moisture inverse gas chromatography using ball surface acoustic wave sensor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 微量水分 / trace moisture |
| キーワード(2)（和/英） | インバースガスクロマトグラフィ / inverse gas chromatography |
| キーワード(3)（和/英） | 球状弾性表面波センサ / ball surface acoustic wave sensor |
| キーワード(4)（和/英） | ステンレス配管 / stainless steel tube |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 辻 俊宏 / Toshihiro Tsuji |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 小原 良和 / Yoshikazu Ohara |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 三原 毅 / Tsuyoshi Mihara |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東北大学(略称：東北大) Tohoku University(略称：Tohoku Univ.) |
| 発表年月日 | 2021-03-03 |
| 資料番号 | US2020-78 |
| 巻番号（vol） | vol.120 |
| 号番号（no） | US-396 |
| ページ範囲 | pp.7-12(US), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2021-02-24 (US) |