| 講演名 | 2021-03-05 円筒空洞共振器法を用いた薄型誘電体フィルムの高能率温度依存性評価に関する検討 木村 泰希(宇都宮大), 古神 義則(宇都宮大), 清水 隆志(宇都宮大), |
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| 抄録(和) | 円筒空洞共振器法を用いた厚さ100μm以下のフィルム試料の高精度の温度依存性測定には、測定温度の安定に充分な時間をかける必要があり、その測定には2日間程度の時間を要し、非効率的であった。本研究では、温度依存性評価の高能率化を目的とし、数時間程度で温度依存性測定が可能な手法を見出す。36GHz帯材料評価用共振器および50μm厚PTFEフィルムを用いて検討した結果、空気乾燥機を導入し、高温から低温へ温度変化することで、高精度かつ高能率に温度依存性評価が行えることを実証した。 |
| 抄録(英) | It is inefficient to evaluate temperature dependence for a dielectric thin film with thickness of 100 um or below by a circular cavity resonator method because this evaluation procedure takes long time to stabilize the temperature. In this study, in order to improve the efficiency of this evaluation procedure, we propose a procedure that can evaluate temperature dependence in a short time. Temperature dependence of PTFE films with a thickness of about 50 um are measured using 36 GHz band resonator by various measurement conditions for temperature and humidity control. As a result, the proposed procedure has five times efficient than the conventional one by using air dryers and starting high temperature side. |
| キーワード(和) | 複素誘電率 / 温度依存性 / 円筒空洞共振器法 / ミリ波 |
| キーワード(英) | Complex permittivity / Temperature dependence / Circular cavity resonator method / Millimeter wave |
| 資料番号 | MW2020-92 |
| 発行日 | 2021-02-26 (MW) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW |
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| 開催期間 | 2021/3/5(から1日開催) |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Online |
| テーマ（和） | マイクロ波一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 古神 義則(宇都宮大) |
| 委員長氏名（英） | Yoshinori Kogami(Utsunomiya Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 河合 正(兵庫県立大) / 大久保 賢祐(岡山県立大) / 新庄 真太郎(三菱電機) |
| 副委員長氏名（英） | Tadashi Kawai(Univ. of Hyogo) / Kensuke Okubo(Okayama Prefectural Univ.) / Shintaro Shinjo(Mitsubishi Electric) |
| 幹事氏名（和） | 佐藤 優(富士通研) / 大平 昌敬(埼玉大) |
| 幹事氏名（英） | Masaru Sato(Fujitsu Labs.) / Masataka Ohira(Saitama Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 高野 恭弥(東京理科大) / 長谷川 直輝(ソフトバンク) |
| 幹事補佐氏名（英） | Kyoya Takano(Tokyo Univ. of Science) / Naoki Hasegawa(Softbank) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Microwaves |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 円筒空洞共振器法を用いた薄型誘電体フィルムの高能率温度依存性評価に関する検討 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Study on an efficient evaluation of temperature dependence for a dielectric thin film by a circular cavity resonator method |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 複素誘電率 / Complex permittivity |
| キーワード(2)（和/英） | 温度依存性 / Temperature dependence |
| キーワード(3)（和/英） | 円筒空洞共振器法 / Circular cavity resonator method |
| キーワード(4)（和/英） | ミリ波 / Millimeter wave |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 木村 泰希 / Taiki Kimura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学(略称：宇都宮大) Utsunomiya University(略称：Utsunomiya Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 古神 義則 / Yoshinori Kogami |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学(略称：宇都宮大) Utsunomiya University(略称：Utsunomiya Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 清水 隆志 / Takashi Shimizu |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 宇都宮大学(略称：宇都宮大) Utsunomiya University(略称：Utsunomiya Univ.) |
| 発表年月日 | 2021-03-05 |
| 資料番号 | MW2020-92 |
| 巻番号（vol） | vol.120 |
| 号番号（no） | MW-422 |
| ページ範囲 | pp.7-12(MW), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2021-02-26 (MW) |