| 講演名 | 2020-09-28 基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較 龍見 亮汰(早大), 柳谷 隆彦(早大), |
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| 抄録(和) | 電気機械結合係数(kt2)は圧電薄膜デバイスの性能を決定づけるパラメータの1つである。例えば、kt2が大きいほど、スマートフォン用のRF-BAWフィルタは広帯域・低挿入損失となり、より多くの無線規格を満たすことができる。BAWフィルタ用の圧電薄膜のkt2評価にはIEEE standardの共振反共振法が用いられる。しかし、共振反共振法は基板なし圧電薄膜共振子においてでしか適用できない。基板付き圧電薄膜共振子(ウェハ状態)から基板なし圧電薄膜共振子を作製するためには、基板エッチング等の工程に時間とコストがかかる。そのため、As-grownウェハのままkt2を抽出する意義は大きい。基板付き薄膜共振子のkt2の抽出法として、変換損失法が報告されているが、基板内の損失によりkt2が低く見積もられてしまう。そこで我々はこの問題点を克服するために、基板内の損失を推定して差し引く方法と、基板内の損失を含まない電磁結合信号を用いる方法を提案する。 |
| 抄録(英) | According to the IEEE standard, the resonance-antiresonance method for a self-standing film structure is recommended to determine kt2 of the piezoelectric film. It is convenient and cost-effective to determine the kt2 from the film/wafer structure (HBAR) or epitaxial wafers. kt2 is underestimated due to the acoustic losses in the substrate in the conventional conversion loss (CL) method, which can extract the kt2 from HBAR. In this study, we introduce two CL methods: (i) the method subtracting the acoustic losses in the substrate, (ii) the method using electromagnetic signal including no acoustic losses. |
| キーワード(和) | 電気機械結合係数 / HBAR / ScAlN / 高周波測定 |
| キーワード(英) | electromechanical coupling coefficient / HBAR / ScAlN |
| 資料番号 | US2020-37 |
| 発行日 | 2020-09-21 (US) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
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| 開催期間 | 2020/9/28(から1日開催) |
| 開催地（和） | オンライン開催 |
| 開催地（英） | Web Meeting |
| テーマ（和） | 一般(共催：東北大学電気通信研究所 超音波エレクトロニクス研究会、日本超音波医学会光超音波画像研究会、レーザー学会光音響イメージング技術専門委員会) |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 三浦 光(日大) |
| 委員長氏名（英） | Hikaru Miura(Nihon Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 近藤 淳(静岡大) / 小池 義和(芝浦工大) |
| 副委員長氏名（英） | Jun Kondo(Shizuoka Univ.) / Yoshikazu Koike(Shibaura Inst. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 小山 大介(同志社大) / 荒川 元孝(東北大) |
| 幹事氏名（英） | Daisuke Koyama(Doshisha Univ.) / Mototaka Arakawa(Tohoku Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 平田 慎之介(東工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Shinnosuke Hirata(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Ultrasonics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 基板付き薄膜共振子の基板内損失を含まない新規kt2評価法と従来法の比較 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Extraction of kt2 of HBAR by new conversion loss without acoustic losses in the substrate |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電気機械結合係数 / electromechanical coupling coefficient |
| キーワード(2)（和/英） | HBAR / HBAR |
| キーワード(3)（和/英） | ScAlN / ScAlN |
| キーワード(4)（和/英） | 高周波測定 |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 龍見 亮汰 / Ryota Tatsumi |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 柳谷 隆彦 / Yanagitani Takahiko |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 発表年月日 | 2020-09-28 |
| 資料番号 | US2020-37 |
| 巻番号（vol） | vol.120 |
| 号番号（no） | US-174 |
| ページ範囲 | pp.57-60(US), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2020-09-21 (US) |