講演名 2020-09-28
同種・異種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性
藤巻 貴海(山梨大), 鈴木 雅視(山梨大), 垣尾 省司(山梨大),
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抄録(和) LiNbO3薄板と水晶から成る同種・異種材料接合構造上のリーキーSAW伝搬特性と共振特性を理論的に検討した.水晶薄板とカット角が異なる水晶支持基板から成る同種材料接合構造が正の大きなTCFを有することを示し,この接合構造上にさらに負のTCF を有するLN薄板を接合することにより,LNの高結合な特性を維持したまま良好なTCFが得られる構造を提案した.64°YX-LN/Z30°X-水晶/AT0°X-水晶上の共振特性シミュレーションにおいて,LN 単体と同等の比帯域幅とほぼゼロのTCFが同時に得られることを明らかにした.
抄録(英) The propagation and resonance properties of a leaky SAW (LSAW) on bonded structures comprising of similar and dissimilar materials were investigated theoretically. A large positive temperature coefficient of frequency (TCF) for LSAW can be produced on a quartz thin plate bonded to a quartz substrate with a difference cut angle. We proposed a bonded structure comprising of a LiNbO3 (LN) thin plate and the quartz thin plate/quartz substrate, in which the negative TCF of the LN thin plate can be cancelled by the positive TCF. For the simulated resonance properties on the 64°YX-LN/Z30°X-quartz/ AT0°X-quartz, a similar fractional bandwidth to that of the single LN and near-zero TCF and were obtained simultaneously.
キーワード(和) リーキーSAW / 同種・異種材料接合 / 水晶 / ニオブ酸リチウム / TCF
キーワード(英) Leaky SAW / Bonding Similar and Dissimilar Materials / Quartz / LiNbO3 / TCF
資料番号 US2020-33
発行日 2020-09-21 (US)

研究会情報
研究会 US
開催期間 2020/9/28(から1日開催)
開催地(和) オンライン開催
開催地(英) Web Meeting
テーマ(和) 一般(共催:東北大学電気通信研究所 超音波エレクトロニクス研究会、日本超音波医学会光超音波画像研究会、レーザー学会光音響イメージング技術専門委員会)
テーマ(英)
委員長氏名(和) 三浦 光(日大)
委員長氏名(英) Hikaru Miura(Nihon Univ.)
副委員長氏名(和) 近藤 淳(静岡大) / 小池 義和(芝浦工大)
副委員長氏名(英) Jun Kondo(Shizuoka Univ.) / Yoshikazu Koike(Shibaura Inst. of Tech.)
幹事氏名(和) 小山 大介(同志社大) / 荒川 元孝(東北大)
幹事氏名(英) Daisuke Koyama(Doshisha Univ.) / Mototaka Arakawa(Tohoku Univ.)
幹事補佐氏名(和) 平田 慎之介(東工大)
幹事補佐氏名(英) Shinnosuke Hirata(Tokyo Inst. of Tech.)

講演論文情報詳細
申込み研究会 Technical Committee on Ultrasonics
本文の言語 JPN
タイトル(和) 同種・異種材料接合構造におけるリーキーSAWの伝搬・共振特性
サブタイトル(和)
タイトル(英) Propagation and Resonance Properties of Leaky SAW on Bonded Structures Consisting of Similar and Dissimilar Material
サブタイトル(和)
キーワード(1)(和/英) リーキーSAW / Leaky SAW
キーワード(2)(和/英) 同種・異種材料接合 / Bonding Similar and Dissimilar Materials
キーワード(3)(和/英) 水晶 / Quartz
キーワード(4)(和/英) ニオブ酸リチウム / LiNbO3
キーワード(5)(和/英) TCF / TCF
第 1 著者 氏名(和/英) 藤巻 貴海 / Takumi Fujimaki
第 1 著者 所属(和/英) 山梨大学(略称:山梨大)
University of Yamanashi(略称:Univ. of Yamanashi)
第 2 著者 氏名(和/英) 鈴木 雅視 / Masashi Suzuki
第 2 著者 所属(和/英) 山梨大学(略称:山梨大)
University of Yamanashi(略称:Univ. of Yamanashi)
第 3 著者 氏名(和/英) 垣尾 省司 / Shoji Kakio
第 3 著者 所属(和/英) 山梨大学(略称:山梨大)
University of Yamanashi(略称:Univ. of Yamanashi)
発表年月日 2020-09-28
資料番号 US2020-33
巻番号(vol) vol.120
号番号(no) US-174
ページ範囲 pp.35-40(US),
ページ数 6
発行日 2020-09-21 (US)