| 講演名 | 2020-04-13 青色半導体レーザにより結晶化したpoly-Si膜を用いた金属ソース/ドレイン構造TFT 岡田 竜弥(琉球大), 野口 隆(琉球大), |
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| 抄録(和) | これまでに我々は、青色半導体レーザアニール法(BLDA)を用いることでa-Si 膜が結晶化可能であり、平坦な結晶化Si 膜が得られることを明らかにしている。さらにTiをソース/ドレイン部に用いた金属S/D構造poly-Si TFTとすることで、不純物導入、またその後の高温の活性化アニールを行なうことなく良好な特性のpoly-Si TFTを作製できる。BLDAおよび金属S/D構造poly-Si TFTは、低温プロセスでの高性能poly-Si TFT作製に期待できる。 |
| 抄録(英) | We have reported that Blue Multi-Laser Diode Annealing (BLDA) is effective to crystallize Si films with smooth surface. Additionally, good performance poly-Si TFTs with metal source/drain structure could be realized without neither impurity doping nor high temperature activation annealing. BLDA and metal source/drain structure TFTs are effective to realize poly-Si TFT on low temperature process. |
| キーワード(和) | 青色半導体レーザ / BLDA / poly-Si / 金属S/D構造TFT |
| キーワード(英) | Blue Multi-Laser Diode Annealing / BLDA / poly-Si / Metal S/D TFT |
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| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM / OME |
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| 開催期間 | 2020/4/13(から2日開催) |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawaken Seinen Kaikan |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Thin film devices (Si, compound, organic, flexible), Biotechnology, Materials, Characterization, etc. |
| 委員長氏名（和） | 品田 高宏(東北大) / 真島 豊(東工大) |
| 委員長氏名（英） | Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) / Yutaka Majima(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 平野 博茂(パナソニック・タワージャズ) / 山田 俊樹(NICT) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroshige Hirano(TowerJazz Panasonic) / Toshiki Yamada(NICT) |
| 幹事氏名（和） | 池田 浩也(静岡大) / 諸岡 哲(キオクシア) / 田口 大(東工大) / 梶井 博武(阪大) |
| 幹事氏名（英） | Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) / Tetsu Morooka(KIOXIA) / Dai Taguchi(Tokyo Inst. of Tech.) / Hirotake Kajii(Osaka Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 森 貴洋(産総研) / 小林 伸彰(日大) / 嘉治 寿彦(東京農工大) / 清家 善之(愛知工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takahiro Mori(AIST) / Nobuaki Kobayashi(Nihon Univ.) / Toshihiko Kaji(Tokyo Univ. of Agriculture and Tech.) / Yoshiyuki Seike(Aichi Inst. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Committee on Organic Molecular Electronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 青色半導体レーザにより結晶化したpoly-Si膜を用いた金属ソース/ドレイン構造TFT |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Metal Source/Drain Structure TFTs using poly-Si Crystallized by Blue Multi-Laser Diode Annealing |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 青色半導体レーザ / Blue Multi-Laser Diode Annealing |
| キーワード(2)（和/英） | BLDA / BLDA |
| キーワード(3)（和/英） | poly-Si / poly-Si |
| キーワード(4)（和/英） | 金属S/D構造TFT / Metal S/D TFT |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 琉球大学(略称：琉球大) University of the Ryukyus(略称：Univ. Ryukyus) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 野口 隆 / Takashi Noguchi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 琉球大学(略称：琉球大) University of the Ryukyus(略称：Univ. Ryukyus) |
| 発表年月日 | 2020-04-13 |
| 資料番号 | |
| 巻番号（vol） | vol. |
| 号番号（no） | |
| ページ範囲 | pp.-(), |
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