| 講演名 | 2020-04-13 ［招待講演］多結晶Ge系薄膜のトランジスタ応用 都甲 薫(筑波大), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | With the development of Ge device technologies, a polycrystalline Ge thin-film transistor (TFT) is attracting a great deal of attention to improve the performance of Si large-scale integrated circuits and mobile terminals. Here, accumulation mode TFTs are fabricated at low temperature (< 500 °C) based on high-mobility polycrystalline Ge layers formed by advanced solid-phase crystallization. The relationship between the crystal quality, electrical properties, and TFT characteristics is comprehensively discussed with the prospect of application to flexible TFTs. |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | germaniumpolycrystallinethin film transistorsolid-phase crystallization |
| 資料番号 | |
| 発行日 |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM / OME |
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| 開催期間 | 2020/4/13(から2日開催) |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawaken Seinen Kaikan |
| テーマ（和） | 薄膜（Si,化合物,有機,フレキシブル）機能デバイス・バイオテクノロジー・材料・評価技術および一般 |
| テーマ（英） | Thin film devices (Si, compound, organic, flexible), Biotechnology, Materials, Characterization, etc. |
| 委員長氏名（和） | 品田 高宏(東北大) / 真島 豊(東工大) |
| 委員長氏名（英） | Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) / Yutaka Majima(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 平野 博茂(パナソニック・タワージャズ) / 山田 俊樹(NICT) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroshige Hirano(TowerJazz Panasonic) / Toshiki Yamada(NICT) |
| 幹事氏名（和） | 池田 浩也(静岡大) / 諸岡 哲(キオクシア) / 田口 大(東工大) / 梶井 博武(阪大) |
| 幹事氏名（英） | Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) / Tetsu Morooka(KIOXIA) / Dai Taguchi(Tokyo Inst. of Tech.) / Hirotake Kajii(Osaka Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 森 貴洋(産総研) / 小林 伸彰(日大) / 嘉治 寿彦(東京農工大) / 清家 善之(愛知工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takahiro Mori(AIST) / Nobuaki Kobayashi(Nihon Univ.) / Toshihiko Kaji(Tokyo Univ. of Agriculture and Tech.) / Yoshiyuki Seike(Aichi Inst. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Committee on Organic Molecular Electronics |
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| 本文の言語 | ENG-JTITLE |
| タイトル（和） | ［招待講演］多結晶Ge系薄膜のトランジスタ応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Transistor application of polycrystalline Ge-based thin films |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | / germaniumpolycrystallinethin film transistorsolid-phase crystallization |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 都甲 薫 / Kaoru Toko |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 筑波大学(略称：筑波大) University of Tsukuba(略称：Univ. of Tsukuba) |
| 発表年月日 | 2020-04-13 |
| 資料番号 | |
| 巻番号（vol） | vol. |
| 号番号（no） | |
| ページ範囲 | pp.-(), |
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