| 講演名 | 2020-02-07 ［招待講演］裏面照射型CMOSイメージセンサにおける光学機能拡張 横川 創造(SSS), |
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| 抄録(和) | 裏面照射型CMOSイメージセンサにおいて波長程度もしくはサブ波長サイズスケールの構造体により光学視点で機能拡張する事例が増えている。本技報は2019 IEDMでの報告を基にそのような光学的な機能拡張の事例をレビューする。イメージセンサの基本性能の向上に加えて新たな機能価値を付与することで、将来の様々なセンシング用途へのアプリケーション拡大が期待される。 |
| 抄録(英) | Recent progress of Back-illuminated CMOS image sensor (BI-CIS), focusing on their pixel improvements with design of optical properties using subwavelength sizescale structures and photonics technologies, are reviewed. These technologies contribute not only improving BI-CIS basic performances but also adding new functions for versatile sensing applications. The contents were presented as an invited talk at 2019 IEEE International Electron Device Meeting (IEDM). |
| キーワード(和) | CMOS / イメージセンサ / 光学 |
| キーワード(英) | CMOS / Image Sensor / Photonics |
| 資料番号 | SDM2019-97 |
| 発行日 | 2020-01-31 (SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2020/2/7(から1日開催) |
| 開催地（和） | 東京大学/本郷キャンパス工学部4号館3階42講義室（419号室) |
| 開催地（英） | Tokyo University-Hongo |
| テーマ（和） | 配線・実装技術と関連材料技術 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 品田 高宏(東北大) |
| 委員長氏名（英） | Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 平野 博茂(パナソニック・タワージャズ) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroshige Hirano(TowerJazz Panasonic) |
| 幹事氏名（和） | 池田 浩也(静岡大) / 諸岡 哲(キオクシア) |
| 幹事氏名（英） | Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) / Tetsu Morooka(KIOXIA) |
| 幹事補佐氏名（和） | 森 貴洋(産総研) / 小林 伸彰(日大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takahiro Mori(AIST) / Nobuaki Kobayashi(Nihon Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］裏面照射型CMOSイメージセンサにおける光学機能拡張 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Nanophotonics contributions to state-of-the-art CMOS Image Sensors |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | CMOS / CMOS |
| キーワード(2)（和/英） | イメージセンサ / Image Sensor |
| キーワード(3)（和/英） | 光学 / Photonics |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 横川 創造 / Sozo Yokogawa |
| 第 1 著者 所属（和/英） | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社(略称：SSS) Sony Semiconductor Solutions Corporation(略称：SSS) |
| 発表年月日 | 2020-02-07 |
| 資料番号 | SDM2019-97 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | SDM-410 |
| ページ範囲 | pp.39-43(SDM), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2020-01-31 (SDM) |