| 講演名 | 2020-02-07 ［招待講演］真空紫外光を用いた印刷・めっきによる配線技術 三成 剛生(物質・材料研究機構), 李 万里(物質・材料研究機構), 孫 晴晴(物質・材料研究機構), 李 玲頴(物質・材料研究機構), リュウ シューイン(鄭州大), 金原 正幸(C-INK), |
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| 抄録(和) | 高精細なプリンテッドエレクトロニクス技術と、選択的無電解めっき技術を紹介します。 |
| 抄録(英) | We propose new metallization methods based on "surface selective deposition" or "selective electroless plating". |
| キーワード(和) | プリンテッドエレクトロニクス / 無電解めっき / 真空紫外光 / 薄膜トランジスタ |
| キーワード(英) | Printed Electronics / Electroless Plating / Vacuum Ultraviolet / Thin-Film Transistors |
| 資料番号 | SDM2019-94 |
| 発行日 | 2020-01-31 (SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM |
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| 開催期間 | 2020/2/7(から1日開催) |
| 開催地（和） | 東京大学/本郷キャンパス工学部4号館3階42講義室（419号室) |
| 開催地（英） | Tokyo University-Hongo |
| テーマ（和） | 配線・実装技術と関連材料技術 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 品田 高宏(東北大) |
| 委員長氏名（英） | Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 平野 博茂(パナソニック・タワージャズ) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroshige Hirano(TowerJazz Panasonic) |
| 幹事氏名（和） | 池田 浩也(静岡大) / 諸岡 哲(キオクシア) |
| 幹事氏名（英） | Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) / Tetsu Morooka(KIOXIA) |
| 幹事補佐氏名（和） | 森 貴洋(産総研) / 小林 伸彰(日大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takahiro Mori(AIST) / Nobuaki Kobayashi(Nihon Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］真空紫外光を用いた印刷・めっきによる配線技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Solution-processed interconnections using vacuum ultraviolet |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | プリンテッドエレクトロニクス / Printed Electronics |
| キーワード(2)（和/英） | 無電解めっき / Electroless Plating |
| キーワード(3)（和/英） | 真空紫外光 / Vacuum Ultraviolet |
| キーワード(4)（和/英） | 薄膜トランジスタ / Thin-Film Transistors |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 三成 剛生 / Takeo Minari |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 物質・材料研究機構(略称：物質・材料研究機構) National Institute for Materials Science(略称：NIMS) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 李 万里 / Wanli Li |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 物質・材料研究機構(略称：物質・材料研究機構) National Institute for Materials Science(略称：NIMS) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 孫 晴晴 / Qingqing Sun |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 物質・材料研究機構(略称：物質・材料研究機構) National Institute for Materials Science(略称：NIMS) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 李 玲頴 / Lingying Li |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 物質・材料研究機構(略称：物質・材料研究機構) National Institute for Materials Science(略称：NIMS) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | リュウ シューイン / Xuying Liu |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 鄭州大学(略称：鄭州大) Zhengzhou University(略称：Zhengzhou Univ.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 金原 正幸 / Masayuki Kanehara |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 株式会社C-INK(略称：C-INK) C-INK Co., Ltd.(略称：C-INK) |
| 発表年月日 | 2020-02-07 |
| 資料番号 | SDM2019-94 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | SDM-410 |
| ページ範囲 | pp.27-30(SDM), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2020-01-31 (SDM) |