| 講演名 | 2019-12-26 ダイヤモンド電極の作製と電解硫酸技術 新藤 恵美(千葉工大), 永井 達夫(ミクロエース), 坂本 幸弘(千葉工大), |
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| 抄録(和) | ホウ酸トリメチルB(CH3O)3をホウ素源として用い，マイクロ波プラズマCVD装置を用いてボロンドープダイヤモンドを合成した．適切なキャリアガス流量に設定することでアモルファスカーボンの除去とホウ素のドーピングが同時に可能となり，良質かつ低抵抗なダイヤモンド膜の作製が可能であった．また，このダイヤモンド電極を用いて作製する電解硫酸溶液中の酸化剤濃度を測定できるよう，ラマン分光法による検討を行った．酸化剤濃度を調製した溶液をラマン分光分析した結果，硫酸濃度0-0.002mol/m3の範囲においては電解硫酸に存在する3種の酸化剤を同時に検知可能であり，定量分析の可能性が示唆された． |
| 抄録(英) | Boron-doped diamond was synthesized with trimethyl borate B(CH3O)3 as boron source using a microwave plasma CVD apparatus. By setting the appropriate flow rate of the carrier gas, it was possible to remove amorphous carbon and to dope boron at the same time, and the diamond film with high quality and low resistance was produced. In order to measure the concentrations of oxidizers in the electrolyzed sulfuric acid solution prepared using this diamond electrode, the method using Raman spectroscopy was discussed. As the result of Raman spectroscopic analysis of the solution prepared with oxidizing agents, three oxidizing agents existed in electrolyzed sulfuric acid could be detected simultaneously in the sulfuric acid concentration range of 0-0.002 mol/m3, and the possibility of quantitative analysis was suggested. |
| キーワード(和) | CVD / ダイヤモンド / 電極 / 電解硫酸 / ラマン分光分析 |
| キーワード(英) | CVD / Diamond / electrode / electrolyzed sulfuric acid / Raman spectroscopy |
| 資料番号 | OME2019-50 |
| 発行日 | 2019-12-19 (OME) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
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| 開催期間 | 2019/12/26(から2日開催) |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | Okinawaken Seinenkaikan |
| テーマ（和） | 表面技術、薄膜、腐食、電気化学、エレクトロニクスデバイス、バイオテクノロジー、医工学 |
| テーマ（英） | surface technology, surface modification, thin film, corrosion, electrochrmistry, implementation technology |
| 委員長氏名（和） | 真島 豊(東工大) |
| 委員長氏名（英） | Yutaka Majima(Tokyo Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 山田 俊樹(NICT) |
| 副委員長氏名（英） | Toshiki Yamada(NICT) |
| 幹事氏名（和） | 田口 大(東工大) / 梶井 博武(阪大) |
| 幹事氏名（英） | Dai Taguchi(Tokyo Inst. of Tech.) / Hirotake Kajii(Osaka Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 嘉治 寿彦(東京農工大) / 清家 善之(愛知工大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Toshihiko Kaji(Tokyo Univ. of Agriculture and Tech.) / Yoshiyuki Seike(Aichi Inst. of Tech.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Organic Molecular Electronics |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ダイヤモンド電極の作製と電解硫酸技術 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Preparation of diamond electrodes and electrolyzed sulfuric acid technology |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | CVD / CVD |
| キーワード(2)（和/英） | ダイヤモンド / Diamond |
| キーワード(3)（和/英） | 電極 / electrode |
| キーワード(4)（和/英） | 電解硫酸 / electrolyzed sulfuric acid |
| キーワード(5)（和/英） | ラマン分光分析 / Raman spectroscopy |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 新藤 恵美 / Emi Shindou |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 千葉工業大学(略称：千葉工大) Chiba Institute of Technology(略称：CIT) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 永井 達夫 / Tatsuo Nagai |
| 第 2 著者 所属（和/英） | ミクロエース株式会社(略称：ミクロエース) Micro Ace Co., Ltd.(略称：Micro Ace) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 坂本 幸弘 / Yukihiro Sakamoto |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 千葉工業大学(略称：千葉工大) Chiba Institute of Technology(略称：CIT) |
| 発表年月日 | 2019-12-26 |
| 資料番号 | OME2019-50 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | OME-357 |
| ページ範囲 | pp.9-12(OME), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2019-12-19 (OME) |