| 講演名 | 2019-11-21 Ga液体金属電界放射陰極の特性評価 高藤 祐太(静岡大), 根尾 陽一郎(静岡大), 三村 秀典(静岡大), |
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| 抄録(和) | 液体金属薄膜を電界放射陰極先端に被覆する事で，テーラーコーン形成に必要な電界強度が電界放出(FE)に必要な電界を下回り安定なFEが起こることが畑らにより発見されて以来，多くの研究が報告されている．仕事関数が大きく異なるLi (2.9eV)やGa (4.2eV)のいずれからも1mAを超える著しいFE電流の増加が起こり，そのFE過程は非常に興味深い．これらの報告では液体金属電子源の形成には，超高真空下でフラッシングにより表面を清浄化した後，膜厚を制御した蒸着法で薄い液体金属薄膜を堆積する方法が採用されてきた．実用化を考えた場合，電子銃部にチップ形成部と搬送系を含めることは大きな障害となる．本報告では，簡便かつ安価な方法で，現状の電子線顕微鏡の電子銃部の構成を変えることなく液体金属電子源をその場形成する方法を見出し，それらの特性評価を行った． |
| 抄録(英) | Since the field was discovered by Hata et al. That a liquid metal thin film was coated on the tip of a field emission cathode, the electric field strength required for tailor cone formation was lower than the electric field required for field emission (FE), resulting in stable FE. Studies have been reported. Both Li (2.9eV) and Ga (4.2eV), which have very different work functions, have a significant increase in FE current exceeding 1mA, and the FE process is very interesting. In these reports, the formation of a liquid metal electron source has been achieved by cleaning the surface by flushing under an ultra-high vacuum and then depositing a thin liquid metal thin film by a controlled evaporation method. When practical application is considered, including a chip forming part and a transport system in the electron gun part is a major obstacle. In this report, we found a method to form a liquid metal electron source in situ without changing the configuration of the electron gun part of the current electron beam microscope by a simple and inexpensive method, and evaluated their characteristics. |
| キーワード(和) | 電界放射 / 液体金属電子源 / Ga |
| キーワード(英) | field emission / field emission cathode coated with liquid / Ga |
| 資料番号 | ED2019-63 |
| 発行日 | 2019-11-14 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2019/11/21(から2日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子管と真空ナノエレクトロニクス |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 須原 理彦(首都大) |
| 委員長氏名（英） | Michihiko Suhara(TMU) |
| 副委員長氏名（和） | 藤代 博記(東京理科大) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) |
| 幹事氏名（和） | 大石 敏之(佐賀大) / 岩田 達哉(富山県立大) |
| 幹事氏名（英） | Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Tatsuya Iwata(Toyama Pref. Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 小谷 淳二(富士通研) / 堤 卓也(NTT) |
| 幹事補佐氏名（英） | Junji Kotani(Fjitsu Lab.) / Takuya Tsutsumi(NTT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | Ga液体金属電界放射陰極の特性評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Characteristic evaluation of field emission cathode coated with liquid gallium |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電界放射 / field emission |
| キーワード(2)（和/英） | 液体金属電子源 / field emission cathode coated with liquid |
| キーワード(3)（和/英） | Ga / Ga |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 高藤 祐太 / Yuta Takafuji |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 静岡大学(略称：静岡大) Shizuoka University(略称：Shizuoka Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 根尾 陽一郎 / Yoichiro Neo |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 静岡大学(略称：静岡大) Shizuoka University(略称：Shizuoka Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 三村 秀典 / Hidenori Mimura |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 静岡大学(略称：静岡大) Shizuoka University(略称：Shizuoka Univ.) |
| 発表年月日 | 2019-11-21 |
| 資料番号 | ED2019-63 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | ED-305 |
| ページ範囲 | pp.17-20(ED), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2019-11-14 (ED) |