| 講演名 | 2019-11-07 誘電体表面の微細凹凸欠陥の識別用ホログラムの設計 杉坂 純一郎(北見工大), 安井 崇(北見工大), 平山 浩一(北見工大), |
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| 抄録(和) | 物体表面の凹凸は，光を照射し，反射光の位相情報から非破壊的に計測できる．しかし，表面の傷や塵埃など，光の波長より小さな凹凸の場合は，凹凸形状と散乱波の関係が複雑になり，正しく計測できない．本研究では，誘電体平面上の微細な凹型，凸型欠陥を識別するための計算機合成ホログラムを設計する．複雑な干渉計や精密な機械的スキャンは必要なく，試料からの散乱波をこのホログラムに通し，現れるスポット像の強度値から容易に識別できることを示す． |
| 抄録(英) | Small defects on a flat surface can be measured from the phase information of the reflected light. However, discrimination of the fine convex and concave defects that are smaller than the illumination wavelength is difficult because of the complicated relation of the phase information and the defect structure. In this study, we design a computer-generated hologram to discriminate fine convex and concave defects on a dielectric flat surface. This system does not need any interferometer and mechanical scanning. The defect identification can be easily achieved by observing the spot intensity after passing the scattered wave from the sample through this hologram. |
| キーワード(和) | 逆問題 / 散乱理論 / 光計測 / ホログラム |
| キーワード(英) | Inverse problem / Scattering theory / Optical measurement / Computer-generated hologram |
| 資料番号 | EMT2019-47 |
| 発行日 | 2019-10-31 (EMT) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMT / IEE-EMT |
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| 開催期間 | 2019/11/7(から3日開催) |
| 開催地（和） | ホテル春慶屋 |
| 開催地（英） | Hotel Syunkeiya |
| テーマ（和） | 電磁界理論一般 |
| テーマ（英） | Electromagnetic Theory, etc. |
| 委員長氏名（和） | 平山 浩一(北見工大) / 後藤 啓次(防衛大) |
| 委員長氏名（英） | Koichi Hirayama(Kitami Inst. of Tech.) / Keiji Goto(National Defense Academy) |
| 副委員長氏名（和） | 出口 博之(同志社大) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroyuki Deguchi(Doshisha Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 渡辺 仰基(福岡工大) / 鈴木 敬久(首都大東京) / 阪本 卓也(京大) / 黒木 啓之(都立産技高専) |
| 幹事氏名（英） | Koki Watanabe(Fukuoka Inst.of Tech.) / Yukihisa Suzuki(Tokyo Metropolitan Univ.) / Ｔａｋｕｙａ Sakamoto(Kyoto Univ.) / Takashi Kuroki(Tokyo Metro. Coll. of Tech.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 杉坂 純一郎(北見工大) / 松岡 剛志(九州産大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Junichiro Sugisaka(Kitami Inst. of Tech.) / Tsuyoshi Matsuoka(Kyushu Sangyo Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electromagnetic Theory / Technical Meeting on Electromagnetic Theory |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 誘電体表面の微細凹凸欠陥の識別用ホログラムの設計 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Design of computer-generated hologram for discrimination of concave and convex fine defects on dielectric surface |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 逆問題 / Inverse problem |
| キーワード(2)（和/英） | 散乱理論 / Scattering theory |
| キーワード(3)（和/英） | 光計測 / Optical measurement |
| キーワード(4)（和/英） | ホログラム / Computer-generated hologram |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 杉坂 純一郎 / Jun-ichiro Sugisaka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 北見工業大学(略称：北見工大) Kitami Institute of Technology(略称：Kitami Inst. Tech.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 安井 崇 / Takashi Yasui |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 北見工業大学(略称：北見工大) Kitami Institute of Technology(略称：Kitami Inst. Tech.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 平山 浩一 / Koichi Hirayama |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 北見工業大学(略称：北見工大) Kitami Institute of Technology(略称：Kitami Inst. Tech.) |
| 発表年月日 | 2019-11-07 |
| 資料番号 | EMT2019-47 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | EMT-272 |
| ページ範囲 | pp.39-44(EMT), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2019-10-31 (EMT) |