講演名 | 2019-08-26 反応性スパッタ法によって得られたZrN膜上のCu(111)高配向化 佐藤 勝(北見工大), 武山 真弓(北見工大), |
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抄録(和) | |
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キーワード(和) | |
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資料番号 | CPM2019-38 |
発行日 | 2019-08-19 (CPM) |
研究会情報 | |
研究会 | CPM |
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開催期間 | 2019/8/26(から1日開催) |
開催地(和) | 北見工業大学 1号館2F A-207講義室 |
開催地(英) | Kitami Institute of Technology |
テーマ(和) | 電子部品・材料、一般 |
テーマ(英) | Component Parts and Materials, etc. |
委員長氏名(和) | 武山 真弓(北見工大) |
委員長氏名(英) | Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech.) |
副委員長氏名(和) | 中村 雄一(豊橋技科大) |
副委員長氏名(英) | Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) |
幹事氏名(和) | 中澤 日出樹(弘前大) |
幹事氏名(英) | Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) |
幹事補佐氏名(和) | 木村 康男(東京工科大) / 寺迫 智昭(愛媛大) / 廣瀬 文彦(山形大) |
幹事補佐氏名(英) | Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Technical Committee on Component Parts and Materials |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | 反応性スパッタ法によって得られたZrN膜上のCu(111)高配向化 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | Preferentially oriented Cu(111) on ZrN film obtained by reactive sputtering |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | |
第 1 著者 氏名(和/英) | 佐藤 勝 / Masaru Sato |
第 1 著者 所属(和/英) | 北見工業大学(略称:北見工大) Kitami Institute of Technology(略称:Kitami Inst. of Tech) |
第 2 著者 氏名(和/英) | 武山 真弓 / Mayumi B. Takeyama |
第 2 著者 所属(和/英) | 北見工業大学(略称:北見工大) Kitami Institute of Technology(略称:Kitami Inst. of Tech) |
発表年月日 | 2019-08-26 |
資料番号 | CPM2019-38 |
巻番号(vol) | vol.119 |
号番号(no) | CPM-181 |
ページ範囲 | pp.5-7(CPM), |
ページ数 | 3 |
発行日 | 2019-08-19 (CPM) |