| 講演名 | 2019-08-06 化合物半導体トンネルダイオードの特性評価と解析を目指した被試験素子のモデル化 須原 理彦(首都大東京), |
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| 抄録(和) | 化合物半導体トンネルダイオード等の特性解析を目指し，オンウエハ測定のための被試験素子のモデル化と評価のための考察を行った。具体的には，半絶縁性基板上に形成しダイオードを模擬した半導体メサ形状と埋め込み絶縁膜およびコンタクト用電極からなる被試験素子形状のミリ波帯Sパラメータ特性を電磁界シミュレーションし，その結果から等価回路モデルを同定し，半導体メサ部分の素子特性を寄生成分から分離して評価する手法について検討した結果を報告する。 |
| 抄録(英) | Aiming at the characteristic analysis of compound semiconductor tunnel diode, we considered for modeling and evaluation of the device under test. Specifically, the millimeter wave band S-parameter characteristics of the device under test consisting of a semiconductor mesa shape formed on a semi-insulating substrate and simulating a diode, a buried insulating film, and a contact electrode are electromagnetic field simulated, and the results are The equivalent circuit model is identified, and the result of examining the method of separating and evaluating the element characteristic of the semiconductor mesa part from the parasitic component is reported. |
| キーワード(和) | オンウエハ測定 / ミリ波帯 / Sパラメータ / 電磁界シミュレーション / モデリング |
| キーワード(英) | on-wafer measurement / millimeter-wave / S-parameter / electromagnetic field simulation / modeling |
| 資料番号 | ED2019-30 |
| 発行日 | 2019-07-30 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2019/8/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | センサ、MEMS、一般 |
| テーマ（英） | Sensors, MEMS, General |
| 委員長氏名（和） | 須原 理彦(首都大) |
| 委員長氏名（英） | Michihiko Suhara(TMU) |
| 副委員長氏名（和） | 藤代 博記(東京理科大) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) |
| 幹事氏名（和） | 大石 敏之(佐賀大) / 岩田 達哉(富山県立大) |
| 幹事氏名（英） | Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Tatsuya Iwata(Toyama Pref. Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 小谷 淳二(富士通研) / 堤 卓也(NTT) |
| 幹事補佐氏名（英） | Junji Kotani(Fjitsu Lab.) / Takuya Tsutsumi(NTT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 化合物半導体トンネルダイオードの特性評価と解析を目指した被試験素子のモデル化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Modeling of a devices under test for characterization and analysis of compound semiconductor tunnel diodes |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | オンウエハ測定 / on-wafer measurement |
| キーワード(2)（和/英） | ミリ波帯 / millimeter-wave |
| キーワード(3)（和/英） | Sパラメータ / S-parameter |
| キーワード(4)（和/英） | 電磁界シミュレーション / electromagnetic field simulation |
| キーワード(5)（和/英） | モデリング / modeling |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 須原 理彦 / Michihiko Suhara |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 首都大学東京(略称：首都大東京) Tokyo Metropolitan University(略称：TMU) |
| 発表年月日 | 2019-08-06 |
| 資料番号 | ED2019-30 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | ED-160 |
| ページ範囲 | pp.17-19(ED), |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2019-07-30 (ED) |