| 講演名 | 2019-08-06 La2O3/SnO2積層型CO2センサにおけるLa2O3の微細構造とCO2応答への影響 大野 賢(豊橋技科大), 岩田 達哉(富山県立大), 高橋 一浩(豊橋技科大), 澤田 和明(豊橋技科大), |
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| 抄録(和) | 本研究では La2O3/SnO2積層型のCO2センサにおいて， La2O3の成膜状態が CO2応答に 与える影響および湿潤 環境でのCO2応答について考察 した．SiO2/Si基板上に Pt/Ti電極を形成し110×110μm2の領域にSnO2をスパッタリングしその上に La2O3をスピンコートの回転数を 1000 rpmから2000 rpmの範囲で変えて成膜しCO2応答を測定した． SEMおよびオージェ電子分光 (AES)を用いた成膜状態の評価から，スピンコートの条件により多孔質な La2O3膜の空孔度が異なっておりLa2O3の表面積がCO2応答に影響していることが分かった． 次にSnO2上に (La, Y)2O3をスパッタリングで成膜し，湿潤環境下でのCO2応答の評価を行った． スパッタリングを用いた方法で成膜することで，湿潤環境下において有意なCO2応答を得ることに成功した． これは，(La, Y)2O3膜でSnO2を覆うことでSnO2への水吸着が抑制されたことによるものだと考えられる． |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | CO2 / La2O3 / SnO2 / MEMS / ガスセンサ |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | ED2019-31 |
| 発行日 | 2019-07-30 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
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| 開催期間 | 2019/8/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | センサ、MEMS、一般 |
| テーマ（英） | Sensors, MEMS, General |
| 委員長氏名（和） | 須原 理彦(首都大) |
| 委員長氏名（英） | Michihiko Suhara(TMU) |
| 副委員長氏名（和） | 藤代 博記(東京理科大) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) |
| 幹事氏名（和） | 大石 敏之(佐賀大) / 岩田 達哉(富山県立大) |
| 幹事氏名（英） | Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Tatsuya Iwata(Toyama Pref. Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 小谷 淳二(富士通研) / 堤 卓也(NTT) |
| 幹事補佐氏名（英） | Junji Kotani(Fjitsu Lab.) / Takuya Tsutsumi(NTT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Devices |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | La2O3/SnO2積層型CO2センサにおけるLa2O3の微細構造とCO2応答への影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effect of the microscopic structure of La2O3 to CO2 response in La2O3/SnO2 stacked CO2 sensor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | CO2 |
| キーワード(2)（和/英） | La2O3 |
| キーワード(3)（和/英） | SnO2 |
| キーワード(4)（和/英） | MEMS |
| キーワード(5)（和/英） | ガスセンサ |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 大野 賢 / Ken Ono |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 岩田 達哉 / Tatsuya Iwata |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 富山県立大学(略称：富山県立大) Toyama Prefectural University(略称：Toyama Prefectural Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 高橋 一浩 / Kazuhiro Takahashi |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 澤田 和明 / Kazuaki Sawada |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 豊橋技術科学大学(略称：豊橋技科大) Toyohashi University of Technology(略称：Toyohashi Univ. of Tech.) |
| 発表年月日 | 2019-08-06 |
| 資料番号 | ED2019-31 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | ED-160 |
| ページ範囲 | pp.25-28(ED), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2019-07-30 (ED) |