| 講演名 | 2019-08-06 ピエゾ抵抗を利用した多軸力触覚センサと応用 野田 堅太郎(富山県立大), |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | あらまし 本研究では, シリコンピエゾ抵抗型片持ち梁構造を三次元的に配置することで接触力の多軸方向の力,すなわち圧力・せん断力を独立に計測することが可能な多軸力触覚センサを実現した. またセンサ表面の構造に皮膚を規範とした構造を形成することによって, 人のような触感情報を計測する方法を実現した. |
| 抄録(英) | In this paper, we propose a skin-type tactile sensor which can measure a micro size texture of an object by scanning its surface. The sensor was composed of two layers with different stiffness, the surface layer with highly stiff and bumpy surface, and the inner layer with low stiffness. Silicon piezoresitive cantilevers formed in three orthogonal directions which can measure both normal and shear directional forces were used to measure the deformation of this skin-like structure. The highly sensitive silicon piezoresistor enabled a human like texture measurement. |
| キーワード(和) | ピエゾ抵抗 / 多軸力センサ / MEMS |
| キーワード(英) | Piezoresistor / Multi force sensor / MEMS |
| 資料番号 | ED2019-28 |
| 発行日 | 2019-07-30 (ED) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
|---|---|
| 開催期間 | 2019/8/6(から1日開催) |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | センサ、MEMS、一般 |
| テーマ（英） | Sensors, MEMS, General |
| 委員長氏名（和） | 須原 理彦(首都大) |
| 委員長氏名（英） | Michihiko Suhara(TMU) |
| 副委員長氏名（和） | 藤代 博記(東京理科大) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroki Fujishiro(Tokyo Univ. of Science) |
| 幹事氏名（和） | 大石 敏之(佐賀大) / 岩田 達哉(富山県立大) |
| 幹事氏名（英） | Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Tatsuya Iwata(Toyama Pref. Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 小谷 淳二(富士通研) / 堤 卓也(NTT) |
| 幹事補佐氏名（英） | Junji Kotani(Fjitsu Lab.) / Takuya Tsutsumi(NTT) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Electron Devices |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ピエゾ抵抗を利用した多軸力触覚センサと応用 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Multi-axial force tactile sensor using piezoresistor |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | ピエゾ抵抗 / Piezoresistor |
| キーワード(2)（和/英） | 多軸力センサ / Multi force sensor |
| キーワード(3)（和/英） | MEMS / MEMS |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 野田 堅太郎 / Kentaro Noda |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 富山県立大学(略称：富山県立大) Toyama Prefectural University(略称：Toyama Pref. Univ.) |
| 発表年月日 | 2019-08-06 |
| 資料番号 | ED2019-28 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | ED-160 |
| ページ範囲 | pp.5-8(ED), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2019-07-30 (ED) |