| 講演名 | 2019-08-23 ［招待講演］III-V族半導体薄膜を用いたハイブリッド光変調器の展望 竹中 充(東大), 李 強(東大), 関根 尚希(東大), 高木 信一(東大), |
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| 抄録(和) | 我々はSi導波路とIII-V族半導体薄膜をゲート絶縁膜となるAl2O3で貼り合わせたハイブリッドMOS構造に蓄積した電子による光変調により極めて高い変調効率を実現した．また同じハイブリッドMOS構造に逆バイアスを印加し，空乏層中のフランツ・ケルディッシュ効果を用いることで，変調効率と変調速度を両立した光変調が可能であることを明らかにした．III-V族半導体薄膜を熱酸化Si基板上に貼り合わせたIII-V CMOSフォトニクス・プラットフォームを用いた光変調器の研究も進めている．InPスロット導波路とEOポリマーを組み合わせた変調器を提唱している．本講演では，III-V族半導体薄膜を用いたハイブリッド光変調器の展望について議論する． |
| 抄録(英) | We have achieved extremely-high modulation efficiency using accumulated electrons in a hybrid MOS structure where a III-V membrane is bonded on a Si waveguide with Al2O3 gate dielectric. We have also revealed that high-efficiency modulation and high-speed modulation can be obtained simultaneously using the Franz?Keldysh effect in a deletion layer of a reverse-biased hybrid MOS structure. An optical modulator on the III-V CMOS photonics platform where a III-V membrane is bonded on a SiO2/Si wafer. We have proposed an optical modulator based on an InP slot waveguide with EO polymer. We discuss the potential of a hybrid optical modulator based on a III-V membrane. |
| キーワード(和) | シリコンフォトニクス / 光変調器 / 化合物半導体薄膜 / 基板貼り合わせ / 電界効果 / EOポリマー |
| キーワード(英) | Si photonics / Optical Modulator / III-V membrane / Wafer Bonding / EO effect / EO polymer |
| 資料番号 | R2019-28,EMD2019-26,CPM2019-27,OPE2019-55,LQE2019-33 |
| 発行日 | 2019-08-15 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | LQE / OPE / CPM / EMD / R |
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| 開催期間 | 2019/8/22(から2日開催) |
| 開催地（和） | 東北大学 電気通信研究 本館オープンセミナールーム（M153) |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 受光素子，変調器，光部品・電子デバイス実装・信頼性，及び一般 |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 有賀 博(三菱電機) / 高橋 浩(上智大) / 武山 真弓(北見工大) / 和田 真一(TMCシステム) / 安里 彰(富士通) |
| 委員長氏名（英） | Hiroshi Aruga(Mitsubishi Electric) / Hiroshi Takahashi(Sophia Univ.) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech.) / Shinichi Wada(TMC System) / Akira Asato(Fujitsu) |
| 副委員長氏名（和） | 八坂 洋(東北大) / 中川 剛二(富士通研) / 中村 雄一(豊橋技科大) / 萓野 良樹(電通大) / 土肥 正(広島大) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroshi Yasaka(Tohoku Univ.) / Goji Nakagawa(Fujitsu Labs.) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Yoshiki Kayano(Univ. of Electro-Comm.) / Tadashi Dohi(Hiroshima Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 川北 泰雅(古河電工) / 永井 正也(阪大) / 庄司 雄哉(東京工業大学) / 妹尾 和則(NTT) / 中澤 日出樹(弘前大) / 鈴木 健司(富士電機機器制御) / 水上 雅人(室蘭工大) / 田村 信幸(法政大) / 井上 真二(関西大) |
| 幹事氏名（英） | Yasumasa Kawakita(Furukawa Electric Industries) / Masaya Nagai(Osaka Univ.) / Yuya Shoji(Tokyo Inst. of Tech.) / Kazunori Seno(NTT) / Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) / Ｋｅｎｊｉ Ｓｕｚｕｋｉ(Fuji Electric) / Masato Mizukami(Muroran Inst. of Tech.) / Nobuyuki Tamura(Hosei Univ.) / Shinji Inoue(Kansai Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 中島 史人(NTT) / 三浦 健太(群馬大) / 若山 雄貴(日立) / 木村 康男(東京工科大) / 寺迫 智昭(愛媛大) / 廣瀬 文彦(山形大) / 林 優一(奈良先端大) / 岡村 寛之(広島大) / 横川 慎二(電通大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Fumito Nakajima(NTT) / Kenta Miura(Gunma Univ.) / Yuki Wakayama(Hitachi) / Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) / Yuichi Hayashi(ＮＡＩＳＴ) / Hiroyuki Okamura(Hiroshima Univ.) / Shinji Yokogawa(Univ. of Electro-Comm.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Lasers and Quantum Electronics / Technical Committee on OptoElectronics / Technical Committee on Component Parts and Materials / Technical Committee on Electromechanical Devices / Technical Committee on Reliability |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ［招待講演］III-V族半導体薄膜を用いたハイブリッド光変調器の展望 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | [Invited Talk] Prospect of hybrid optical modulators using III-V membrane |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | シリコンフォトニクス / Si photonics |
| キーワード(2)（和/英） | 光変調器 / Optical Modulator |
| キーワード(3)（和/英） | 化合物半導体薄膜 / III-V membrane |
| キーワード(4)（和/英） | 基板貼り合わせ / Wafer Bonding |
| キーワード(5)（和/英） | 電界効果 / EO effect |
| キーワード(6)（和/英） | EOポリマー / EO polymer |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 竹中 充 / Mitsuru Takenaka |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 東京大学(略称：東大) The University of Tokyo(略称：Univ.Tokyo) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 李 強 / Qiang Li |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 東京大学(略称：東大) The University of Tokyo(略称：Univ.Tokyo) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 関根 尚希 / Naoki Sekine |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 東京大学(略称：東大) The University of Tokyo(略称：Univ.Tokyo) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 高木 信一 / Shinichi Takagi |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 東京大学(略称：東大) The University of Tokyo(略称：Univ.Tokyo) |
| 発表年月日 | 2019-08-23 |
| 資料番号 | R2019-28,EMD2019-26,CPM2019-27,OPE2019-55,LQE2019-33 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | R-169,EMD-170,CPM-171,OPE-172,LQE-173 |
| ページ範囲 | pp.43-46(R), pp.43-46(EMD), pp.43-46(CPM), pp.43-46(OPE), pp.43-46(LQE), |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2019-08-15 (R, EMD, CPM, OPE, LQE) |