| 講演名 | 2019-07-29 ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性 宮田 昌哉(同志社大), 高柳 真司(同志社大), 松川 真美(同志社大), 柳谷 隆彦(早大), |
|---|---|
| PDFダウンロードページ |  PDFダウンロードページへ |
| 抄録(和) | 厚みすべりモード共振子は液体中への振動エネルギー漏洩が非常に少ないため，液体粘度測定や抗原抗体反応検出へ応用することができる．これまでに我々は，スパッタリング法を用いてc軸が基板に対して平行に配向したZnO薄膜の作製し，厚みすべりモードで駆動させることに成功している．本報告ではZnO薄膜共振子を作製し，液体負荷時の周波数特性を測定した．アドミタンス実部の極大値の周波数fsとアドミタンス虚部の極大値の周波数fimの二種類のピーク周波数に注目した結果，fimは周波数変化率が大きくアドミタンスピーク値の変化率が小さいため，高感度に液体粘度を測定できると考えられる． |
| 抄録(英) | Thickness-shear mode resonators are applied to sensors to measure liquid viscosity and antigen-antibody reaction, because the vibration energy leakage into liquid is very small. In previous research, we have demonstrated the film growth of a c-axis parallel oriented ZnO using a sputtering deposition. The thickness-shear mode was excited with the ZnO film. In this report, a thickness-shear mode resonator with the ZnO film was fabricated. Then, frequency characteristics of the resonator with liquid loadings were measured. As a result, a large amount of the frequency shift and low attenuation of the admittance value were obtained at the frequency of maximal value in imaginary part of admittance fim compared with that in real part of admittance fs. fim is suitable for the liquid viscosity measurement. |
| キーワード(和) | 薄膜共振子 / 厚みすべりモード / ZnO / 液体粘度 |
| キーワード(英) | Film bulk acoustic resonator / Thickness-shear mode / ZnO / Liquid viscosity |
| 資料番号 | US2019-34 |
| 発行日 | 2019-07-22 (US) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
|---|---|
| 開催期間 | 2019/7/29(から1日開催) |
| 開催地（和） | 北海道大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 物性、一般 (共催：日本レオロジー学会ナノレオロジー研究会) |
| テーマ（英） | |
| 委員長氏名（和） | 近藤 淳(静岡大) |
| 委員長氏名（英） | Jun Kondo(Shizuoka Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 竹内 真一(桐蔭横浜大) / 三浦 光(日大) |
| 副委員長氏名（英） | Shinichi Takeuchi(Toin Univ. of Yokohama) / Hikaru Miura(Nihon Univ.) |
| 幹事氏名（和） | 土屋 健伸(神奈川大) / 小山 大介(同志社大) |
| 幹事氏名（英） | Takenobu Tsuchiya(Kanagawa Univ.) / Daisuke Koyama(Doshisha Univ.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 荒川 元孝(東北大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Mototaka Arakawa(Tohoku Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Ultrasonics |
|---|---|
| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | ZnO薄膜を用いた厚みすべりモード共振子の作製と液体負荷時の周波数特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Fabrication of thickness-shear mode resonators with ZnO film and their frequency characteristics of liquid loading |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 薄膜共振子 / Film bulk acoustic resonator |
| キーワード(2)（和/英） | 厚みすべりモード / Thickness-shear mode |
| キーワード(3)（和/英） | ZnO / ZnO |
| キーワード(4)（和/英） | 液体粘度 / Liquid viscosity |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 宮田 昌哉 / Masaya Miyata |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 同志社大学(略称：同志社大) Doshisha University(略称：Doshisha Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 高柳 真司 / Shinji Takayanagi |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 同志社大学(略称：同志社大) Doshisha University(略称：Doshisha Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 松川 真美 / Mami Matsukawa |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 同志社大学(略称：同志社大) Doshisha University(略称：Doshisha Univ.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 柳谷 隆彦 / Takahiko Yanagitani |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 早稲田大学(略称：早大) Waseda University(略称：Waseda Univ.) |
| 発表年月日 | 2019-07-29 |
| 資料番号 | US2019-34 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | US-152 |
| ページ範囲 | pp.33-37(US), |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2019-07-22 (US) |