| 講演名 | 2019-05-17 アクティブスクリーンプラズマによる窒化とその表面構造解析 市村 進(名古屋産業振興公社), 高島 成剛(名古屋産業振興公社), 水流 一平(中日本炉工業), 大久保 大地(中日本炉工業), 松尾 英明(中日本炉工業), 後藤 峰男(中日本炉工業), |
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| 抄録(和) | |
| 抄録(英) | |
| キーワード(和) | |
| キーワード(英) | |
| 資料番号 | ED2019-20,CPM2019-11,SDM2019-18 |
| 発行日 | 2019-05-09 (ED, CPM, SDM) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | SDM / ED / CPM |
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| 開催期間 | 2019/5/16(から2日開催) |
| 開催地（和） | 静岡大学（浜松） |
| 開催地（英） | Shizuoka Univ. (Hamamatsu) |
| テーマ（和） | 機能性デバイス材料・作製・特性評価および関連技術 |
| テーマ（英） | Materials, Fabrication, and Characterization of Functional Devices, and Related Technology |
| 委員長氏名（和） | 品田 高宏(東北大) / 津田 邦男(東芝インフラシステムズ) / 廣瀬 文彦(山形大) |
| 委員長氏名（英） | Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) / Kunio Tsuda(Toshiba) / Fumihiko Hirose(Yamagata Univ.) |
| 副委員長氏名（和） | 平野 博茂(パナソニック・タワージャズ) / 須原 理彦(首都大) / 武山 真弓(北見工大) |
| 副委員長氏名（英） | Hiroshige Hirano(TowerJazz Panasonic) / Michihiko Suhara(TMU) / Mayumi Takeyama(Kitami Inst. of Tech.) |
| 幹事氏名（和） | 池田 浩也(静岡大) / 諸岡 哲(東芝メモリー) / 東脇 正高(NICT) / 大石 敏之(佐賀大) / 中村 雄一(豊橋技科大) / 赤毛 勇一(NTTデバイスイノベーションセンタ) |
| 幹事氏名（英） | Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) / Tetsu Morooka(TOSHIBA MEMORY) / Masataka Higashiwaki(NICT) / Toshiyuki Oishi(Saga Univ.) / Yuichi Nakamura(Toyohashi Univ. of Tech.) / Yuichi Akage(NTT) |
| 幹事補佐氏名（和） | 森 貴洋(産総研) / 小林 伸彰(日大) / 岩田 達哉(豊橋技科大) / 小谷 淳二(富士通研) / 木村 康男(東京工科大) / 中澤 日出樹(弘前大) / 寺迫 智昭(愛媛大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Takahiro Mori(AIST) / Nobuaki Kobayashi(Nihon Univ.) / Tatsuya Iwata(TUT) / Junji Kotani(Fjitsu Lab.) / Yasuo Kimura(Tokyo Univ. of Tech.) / Hideki Nakazawa(Hirosaki Univ.) / Tomoaki Terasako(Ehime Univ.) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials / Technical Committee on Electron Devices / Technical Committee on Component Parts and Materials |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | アクティブスクリーンプラズマによる窒化とその表面構造解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Nitriding by active screen plasma and its surface structure analysis |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 市村 進 / Susumu Ichimura |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 公益財団法人 名古屋産業振興公社(略称：名古屋産業振興公社) Nagoya Industries Promotion Corporation(略称：Nagoya Industries Promotion Corporation) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 高島 成剛 / Seigo Takashima |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 公益財団法人 名古屋産業振興公社(略称：名古屋産業振興公社) Nagoya Industries Promotion Corporation(略称：Nagoya Industries Promotion Corporation) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 水流 一平 / Ippei Tsuru |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 中日本炉工業 株式会社(略称：中日本炉工業) Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.(略称：Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 大久保 大地 / Daichi Ohkubo |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 中日本炉工業 株式会社(略称：中日本炉工業) Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.(略称：Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.) |
| 第 5 著者 氏名（和/英） | 松尾 英明 / Hideaki Matsuo |
| 第 5 著者 所属（和/英） | 中日本炉工業 株式会社(略称：中日本炉工業) Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.(略称：Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.) |
| 第 6 著者 氏名（和/英） | 後藤 峰男 / Mineo Goto |
| 第 6 著者 所属（和/英） | 中日本炉工業 株式会社(略称：中日本炉工業) Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.(略称：Nakanihon-Ro Kogyo Co., Ltd.) |
| 発表年月日 | 2019-05-17 |
| 資料番号 | ED2019-20,CPM2019-11,SDM2019-18 |
| 巻番号（vol） | vol.119 |
| 号番号（no） | ED-34,CPM-35,SDM-36 |
| ページ範囲 | pp.47-52(ED), pp.47-52(CPM), pp.47-52(SDM), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2019-05-09 (ED, CPM, SDM) |