| 講演名 | 2019-03-15 畳み込みニューラルネットワークの転移学習による多結晶シリコンPL像中の転位領域の推定 工藤 博章(名大), 松本 哲也(名大), 沓掛 健太朗(理研), 宇佐美 徳隆(名大), |
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| 抄録(和) | 本報告では，多結晶シリコンウェハのPL像に対して，ウェハ内部の結晶欠陥である転位を含んだ領域を特定する方法について検討を行った．畳み込みニューラルネットワークの転移学習により，転位領域を含む領域であるか否かを識別する手法について検討を行った．0.94以上の高い正解率が得られ，Youden's index を指標として， 隠れ層が3までの多層パーセプトロンによるもの，Bag of featuresによる手法よりも性能の高い結果が得られた．また，非負値行列因子分解による特徴を用いた検出よりも，学習画像に対してシリコンインゴットの深さの違いが大きくなる画像で，性能の改善を得た． |
| 抄録(英) | In this report, we studied a specified method of regions including dislocations which are crystallographic defects in a photoluminescence (PL) image of multicrystalline silicon wafers. We applied transfer learning of a convolutional neural network to archive it. The network outputs the category which includes dislocation regions or one which does not include them. High accuracies of more than 0.94 are realized. It outperformed methods of multilayer perceptron which has up to 3 hidden layers or of bag of features algorithm as an index by Youden's index. It also obtained better results than the method using non-negative matrix factorization in the condition that the image has larger in depth of learning images in the silicon ingot. |
| キーワード(和) | 畳み込みニューラルネットワーク / 転移学習 / 多結晶シリコン / PL像 / 転位 |
| キーワード(英) | convolutional neural network / transfer learning / multicrystalline silicon / photoluminescence image / dislocation |
| 資料番号 | IMQ2018-69,IE2018-153,MVE2018-100 |
| 発行日 | 2019-03-07 (IMQ, IE, MVE) |
| 研究会情報 | |
| 研究会 | IMQ / IE / MVE / CQ |
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| 開催期間 | 2019/3/14(から2日開催) |
| 開催地（和） | 鹿児島大学 郡元キャンパス |
| 開催地（英） | Kagoshima University |
| テーマ（和） | 五感メディア，マルチメディア，メディアエクスペリエンス， 映像符号化，イメージメディアの品質，ネットワークの品質 および信頼性，一般 （魅力工学（AC）研究会協賛） |
| テーマ（英） | media of five senses, multimedia, media experience, picture codinge, image media quality, network,quality and reliability, etc |
| 委員長氏名（和） | 杉山 賢二(成蹊大) / 浜本 隆之(東京理科大) / 間瀬 健二(名大) / 林 孝典(広島工大) |
| 委員長氏名（英） | Kenji Sugiyama(Seikei Univ.) / Takayuki Hamamoto(Tokyo Univ. of Science) / Kenji Mase(Nagoya Univ.) / Takanori Hayashi(Hiroshima Inst. of Tech.) |
| 副委員長氏名（和） | 中口 俊哉(千葉大) / 前田 充(キヤノン) / 木全 英明(NTT) / 児玉 和也(NII) / 井原 雅行(NTT) / 下西 英之(NEC) / 岡本 淳(NTT) |
| 副委員長氏名（英） | Toshiya Nakaguchi(Chiba Univ.) / Mitsuru Maeda(Canon) / Hideaki Kimata(NTT) / Kazuya Kodama(NII) / Masayuki Ihara(NTT) / Hideyuki Shimonishi(NEC) / Jun Okamoto(NTT) |
| 幹事氏名（和） | 工藤 博章(名大) / 齊藤 新一郎(ソニー) / 河村 圭(KDDI総合研究所) / 高橋 桂太(名大) / 青木 良輔(NTT) / 内山 英昭(九大) / 平山 高嗣(名大) / 池上 大介(NTT) / 大田 健紘(日本工大) |
| 幹事氏名（英） | Hiroaki Kudo(Nagoya Univ.) / Shinichiro Saito(Sony) / Kei Kawamura(KDDI Research) / Keita Takahashi(Nagoya Univ.) / Ryosuke Aoki(NTT) / Hideaki Uchiyama(Kyushu Univ.) / Takatsugu Hirayama(Nagoya Univ.) / Daisuke Ikegami(NTT) / Kenko Ota(Nippon Inst. of Tech.) |
| 幹事補佐氏名（和） | 土田 勝(NTT) / 大橋 剛介(静岡大) / 早瀬 和也(NTT) / 松尾 康孝(NHK) / 西口 敏司(阪工大) / 横山 正典(*) / 佐々木 力(KDDI総合研究所) / 西川 由明(NEC) / 山本 嶺(電通大) |
| 幹事補佐氏名（英） | Masaru Tsuchida(NTT) / Gosuke Ohashi(Shizuoka Univ.) / Kazuya Hayase(NTT) / Yasutaka Matsuo(NHK) / Satoshi Nishiguchi(Oosaka Inst. of Tech.) / Masanori Yokoyama(*) / Chikara Sasaki(KDDI Research) / Yoshiaki Nishikawa(NEC) / Ryo Yamamoto(UEC) |
| 講演論文情報詳細 | |
| 申込み研究会 | Technical Committee on Image Media Quality / Technical Committee on Image Engineering / Technical Committee on Media Experience and Virtual Environment / Technical Committee on Communication Quality |
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| 本文の言語 | JPN |
| タイトル（和） | 畳み込みニューラルネットワークの転移学習による多結晶シリコンPL像中の転位領域の推定 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Estimation of dislocation regions in multicrystalline silicon photoluminescence image by transfer learning with convolutional neural network |
| サブタイトル（和） | |
| キーワード(1)（和/英） | 畳み込みニューラルネットワーク / convolutional neural network |
| キーワード(2)（和/英） | 転移学習 / transfer learning |
| キーワード(3)（和/英） | 多結晶シリコン / multicrystalline silicon |
| キーワード(4)（和/英） | PL像 / photoluminescence image |
| キーワード(5)（和/英） | 転位 / dislocation |
| 第 1 著者 氏名（和/英） | 工藤 博章 / Hiroaki Kudo |
| 第 1 著者 所属（和/英） | 名古屋大学(略称：名大) Nagoya University(略称：Nagoya Univ.) |
| 第 2 著者 氏名（和/英） | 松本 哲也 / Tetsuya Matsumoto |
| 第 2 著者 所属（和/英） | 名古屋大学(略称：名大) Nagoya University(略称：Nagoya Univ.) |
| 第 3 著者 氏名（和/英） | 沓掛 健太朗 / Kentaro Kutsukake |
| 第 3 著者 所属（和/英） | 理化学研究所(略称：理研) RIKEN(略称：RIKEN) |
| 第 4 著者 氏名（和/英） | 宇佐美 徳隆 / Noritaka Usami |
| 第 4 著者 所属（和/英） | 名古屋大学(略称：名大) Nagoya University(略称：Nagoya Univ.) |
| 発表年月日 | 2019-03-15 |
| 資料番号 | IMQ2018-69,IE2018-153,MVE2018-100 |
| 巻番号（vol） | vol.118 |
| 号番号（no） | IMQ-500,IE-501,MVE-502 |
| ページ範囲 | pp.257-262(IMQ), pp.257-262(IE), pp.257-262(MVE), |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2019-03-07 (IMQ, IE, MVE) |