講演名 | 2019-02-07 [招待講演]p型GaN上に形成した単結晶Al配線およびそのGaN FETへの応用 原田 剛史(パナソニック), 宇高 孝二(パナソニック), 神田 裕介(パナソニック), 大西 克彦(パナソニック), 松永 啓一(パナソニック), 引田 正洋(パナソニック), 上本 康裕(パナソニック), |
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資料番号 | SDM2018-95 |
発行日 | 2019-01-31 (SDM) |
研究会情報 | |
研究会 | SDM |
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開催期間 | 2019/2/7(から1日開催) |
開催地(和) | 東京大学/本郷 工学部4号館 42講義室 |
開催地(英) | |
テーマ(和) | 配線・実装技術と関連材料技術 |
テーマ(英) | Backend / Assembly and Related materials technology |
委員長氏名(和) | 品田 高宏(東北大) |
委員長氏名(英) | Takahiro Shinada(Tohoku Univ.) |
副委員長氏名(和) | 平野 博茂(パナソニック・タワージャズ) |
副委員長氏名(英) | Hiroshige Hirano(TowerJazz Panasonic) |
幹事氏名(和) | 池田 浩也(静岡大) / 諸岡 哲(東芝メモリー) |
幹事氏名(英) | Hiroya Ikeda(Shizuoka Univ.) / Tetsu Morooka(TOSHIBA MEMORY) |
幹事補佐氏名(和) | 森 貴洋(産総研) / 小林 伸彰(日大) |
幹事補佐氏名(英) | Takahiro Mori(AIST) / Nobuaki Kobayashi(Nihon Univ.) |
講演論文情報詳細 | |
申込み研究会 | Technical Committee on Silicon Device and Materials |
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本文の言語 | JPN |
タイトル(和) | [招待講演]p型GaN上に形成した単結晶Al配線およびそのGaN FETへの応用 |
サブタイトル(和) | |
タイトル(英) | [Invited Talk] Single Crystal Al Interconnects formed on p-GaN and their Application to GaN FET |
サブタイトル(和) | |
キーワード(1)(和/英) | |
第 1 著者 氏名(和/英) | 原田 剛史 / Takeshi Harada |
第 1 著者 所属(和/英) | パナソニック セミコンダクターソリューションズ(株)(略称:パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称:Panasonic) |
第 2 著者 氏名(和/英) | 宇高 孝二 / Koji Utaka |
第 2 著者 所属(和/英) | パナソニック セミコンダクターソリューションズ(株)(略称:パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称:Panasonic) |
第 3 著者 氏名(和/英) | 神田 裕介 / Yusuke Kand |
第 3 著者 所属(和/英) | パナソニック セミコンダクターソリューションズ(株)(略称:パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称:Panasonic) |
第 4 著者 氏名(和/英) | 大西 克彦 / Katsuhiko Onishi |
第 4 著者 所属(和/英) | パナソニック セミコンダクターソリューションズ(株)(略称:パナソニック) Panasonic Semiconductor Solutions Co., Ltd.(略称:Panasonic) |
第 5 著者 氏名(和/英) | 松永 啓一 / Keiichi Matsunaga |
第 5 著者 所属(和/英) | パナソニック(株)(略称:パナソニック) Panasonic Corporation(略称:Panasonic) |
第 6 著者 氏名(和/英) | 引田 正洋 / Masahiro Hikita |
第 6 著者 所属(和/英) | パナソニック(株)(略称:パナソニック) Panasonic Corporation(略称:Panasonic) |
第 7 著者 氏名(和/英) | 上本 康裕 / Yasuhiro Uemoto |
第 7 著者 所属(和/英) | パナソニック(株)(略称:パナソニック) Panasonic Corporation(略称:Panasonic) |
発表年月日 | 2019-02-07 |
資料番号 | SDM2018-95 |
巻番号(vol) | vol.118 |
号番号(no) | SDM-438 |
ページ範囲 | pp.19-22(SDM), |
ページ数 | 4 |
発行日 | 2019-01-31 (SDM) |