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講演名
2018-11-30 09:25
ALD-Al2O3/AlGaN/GaN MIS-HEMTの電気特性に及ぼすアニール雰囲気の効果
○
古岡啓太
・
久保俊晴
・
三好実人
・
江川孝志
(
名工大
)
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ED2018-42 CPM2018-76 LQE2018-96
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