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講演名
2017-12-22 10:45
高濃度Alドープ4H-SiCエピ膜の伝導機構 ~ 抵抗率のドープ量及び温度依存性 ~
○
小澤愼二
・
竹下明伸
・
今村辰哉
・
高野晃大
・
奥田和也
・
日高淳輝
・
松浦秀治
(
阪電通大
)・
紀 世陽
・
江藤数馬
・
児島一聡
・
加藤智久
・
吉田貞史
・
奥村 元
(
産総研
)
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EID2017-12 SDM2017-73
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SDM2017-73
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